[发明专利]机器人系统、机器人示教方法及机器人示教装置

说明书

技术领域

本发明涉及机器人系统及机器人示教方法。

背景技术

现有已知对机器人进行示教作业的机器人系统。

作为其一例，专利文献1中公开了一种系统，该系统对搬运机器人进行示教作业，该搬运机器人具备多个臂(相当于机器人手。以下，称为“手”)，且一边利用该各个手保持半导体晶片等基板一边进行搬运。

具体而言，在所述现有技术中，首先确定作为位置调整的基准的基准单元，使多个手全部进行向该基准单元的基板的搬运，并掌握手各自的位置数据。然后，算出所述手各自的位置数据的差分，通过该差分来对手之间的偏差进行修正。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002－313872号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在上述的现有技术中，在有效地进行示教作业方面存在进一步的改善余地。

具体而言，在上述的现有技术中，相对于多个手而言，全部需要分别最低限度各1次地进行采用了基准单元的示教作业，存在难以有效地进行示教作业这样的问题。

实施方式的一个方案是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供能够有效地进行示教作业的机器人系统及机器人示教方法。

用于解决课题的技术方案

本实施方式的一个方案所涉及的机器人系统具备机器人臂和控制器。所述机器人臂具备设置成能够分别围绕同轴独立旋转的第一手及其他的手。所述控制器对所述机器人臂的动作进行控制。另外，所述控制器具备第一生成部、误差获取部以及第二生成部。所述第一生成部在以使所述第一手到达规定的目标位置的方式使所述机器人臂动作，并生成针对该目标位置的所述第一手的示教值。所述误差获取部获取所述其他的手相对于所述第一手的围绕所述同轴的相对误差并存储在存储部中。所述第二生成部根据所述相对误差而由所述第一手的示教值生成所述其他的手的示教值。

本实施例的另一个方案中，所述控制器对所述机器人的动作进行控制，其在以使所述第一手到达规定的目标位置的方式使所述机器人臂及所述第一手动作时，生成针对该目标位置的所述第一手的示教值；在基于所述第一手的示教值而使所述第一手及所述第二手旋转时，获取所述第二手相对于所述第一手的围绕所述轴的旋转量的相对误差并存储；以及根据所述相对误差而由所述第一手的示教值生成所述第二手的示教值。

发明效果

根据实施方式的一个方案，能够有效地进行示教作业。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的机器人系统的结构的一例的俯视示意图。

图2是机器人的立体示意图。

图3是手的俯视示意图。

图4A是晶片夹具的俯视示意图。

图4B是晶片夹具的侧视示意图。

图4C是传感器夹具的俯视示意图。

图5是第一实施方式所涉及的机器人系统的框图。

图6A是表示针对第一手的示教作业时的机器人的动作的示意图。

图6B是表示针对第一手的示教作业时的机器人的动作的示意图。

图6C是表示针对第一手的示教作业时的机器人的动作的示意图。

图7A是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图7B是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图7C是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图7D是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图7E是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图7F是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图7G是表示检测第一手及第二手的相对误差时的机器人的动作的示意图。

图8是表示第一实施方式所涉及的机器人系统所执行的处理顺序的流程图。

图9是第二实施方式所涉及的机器人系统的框图。

具体实施方式

以下，参照附图对本申请所公开的机器人系统及机器人示教方法的实施方式进行详细的说明。此外，本发明并不局限于以下所示的实施方式。

另外，以下之中，以机器人为作为被搬运物搬运晶片的基板搬运用机器人的情况为例进行说明。对晶片标以附图标记“W”。