[发明专利]一种具有蓝宝石基片的光谱反射计

权利要求书

1.一种具有蓝宝石基片的光谱反射计，用于检测硅片的刻蚀深度，其特征在于，所述光谱反射计包括蓝宝石基片，所述蓝宝石基片用于对激光产生衍射干涉，并接受反射回来的激光，所述蓝宝石基片的下表面具有预设弧度的凹面，增加其下表面与聚合物的接触面积，使聚合物吸附于所述蓝宝石基片的凹面上。

2.根据权利要求1所述的具有蓝宝石基片的光谱反射计，其特征在于，所述蓝宝石基片的凹面上具有一粘附层，所述粘附层用于粘附所述聚合物。

3.根据权利要求1所述的具有蓝宝石基片的光谱反射计，其特征在于，所述蓝宝石基片的上表面为平面。

4.根据权利要求1所述的具有蓝宝石基片的光谱反射计，其特征在于，所述光谱反射计还包括气体分配管，所述气体分配管设于所述蓝宝石基片的下方，用于向硅片输送预设流量的气体。

5.根据权利要求4所述的具有蓝宝石基片的光谱反射计，其特征在于，所述光谱反射计还包括盖体，所述盖体设于所述蓝宝石基片的上方，通过盖体上的多个螺丝将所述蓝宝石基片以及气体分配管紧固为一体。