[发明专利]测量装置、基板检查装置以及其控制方法、存储媒体

权利要求书

1.一种测量装置，用于测量焊锡的三维形状，其特征在于，具有：

图像取得部，取得第一图像和第二图像，所述第一图像，是在以互不相同的入射角照射多种颜色的光，从而在焊锡的表面显现与其倾斜角相对应的颜色信息的状态下拍摄的，所述第二图像，是在投射图案光，从而在焊锡的表面显现与该焊锡的高度相对应的图案的相位信息的状态下拍摄的，

颜色可靠度计算部，针对焊锡的表面上的各点，求出所述第一图像的颜色信息的可靠度，

相位可靠度计算部，针对焊锡的表面上的各点，求出所述第二图像的相位信息的可靠度，

焊锡形状测量部，通过使用所述第一图像的颜色信息和所述第二图像的相位信息中可靠度高的一种信息，求出焊锡的表面上的各点的三维信息，来生成焊锡的三维形状。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还具有：

结果输出部，在显示装置上显示出表示由所述焊锡形状测量部得到的焊锡的三维形状的图像。

3.如权利要求1或者2所述的测量装置，其特征在于，

所述颜色可靠度计算部，基于所述第一图像的像素的彩度或者亮度，求出与该像素相对应的焊锡的表面上的点的颜色信息的可靠度。

4.如权利要求1或者2所述的测量装置，其特征在于，

所述第二图像是改变图案光的相位而拍摄的多个图像，

所述相位可靠度计算部，基于所述多个图像之间的同一个像素的亮度的变化量，求出与该像素相对应的焊锡的表面上的点的相位信息的可靠度。

5.如权利要求1或者2所述的测量装置，其特征在于，还具有：

颜色信息解析部，通过进行将所述第一图像分割为各个色调的区域的多值化处理，生成由各像素值表示互不相同的倾斜角范围的多值图像，

相位信息解析部，根据所述第二图像的相位信息，求出与各像素相对应的焊锡的表面的高度信息；

所述焊锡形状测量部进行如下处理：

在所述多值图像的像素中，针对相位信息的可靠度比颜色信息高的像素的像素值，基于倾斜角进行修正，所述倾斜角，是根据由所述相位信息解析部求出的该像素和该像素附近像素的高度信息而计算出的，

使用所述修正后的多值图像，生成焊锡的三维形状。

6.如权利要求1或者2所述的测量装置，其特征在于，还具有：

颜色信息解析部，通过进行将所述第一图像分割为各个色调的区域的多值化处理，生成由各像素值表示互不相同的倾斜角范围的多值图像，

相位信息解析部，根据所述第二图像的相位信息，求出与各像素相对应的焊锡的表面的高度信息；

所述焊锡形状测量部进行如下处理：

在由所述相位信息解析部求出的各像素的高度信息中，针对颜色信息的可靠度比相位信息的更高的像素的高度信息，基于根据所述多值图像得到的该像素的倾斜角的信息来进行修正，

使用进行了所述修正后的各像素的高度信息，生成焊锡的三维形状。

7.一种基板检查装置，其特征在于，具有：

如权利要求1～6中的任一项所述的测量装置，

检查部，使用由所述测量装置取得的焊锡的三维形状的数据，检查与部件或者基板相对应的焊锡的接合状态。

8.一种控制方法，用于控制测量装置，该测量装置用于测量焊锡的三维形状，该控制方法的特征在于，包括：

取得第一图像和第二图像的步骤，所述第一图像，是在以互不相同的入射角照射多种颜色的光，从而在焊锡的表面上显现与其倾斜角对应的颜色信息的状态下拍摄的，所述第二图像，是在投射图案光，从而在焊锡的表面上显现与该焊锡的高度相对应的图案的相位信息的状态下拍摄的，

针对焊锡的表面上的各点，求出所述第一图像的颜色信息的可靠度的步骤，

针对焊锡的表面上的各点，求出所述第二图像的相位信息的可靠度的步骤，

通过使用所述第一图像的颜色信息与所述第二图像的相位信息中可靠度高的一种信息，求出焊锡的表面上的各点的三维信息，生成焊锡的三维形状的步骤。

9.一种计算机可读取的存储媒体，其特征在于，

非临时地存储有用于使计算机执行如权利要求8所述的测量装置的控制方法的各步骤的程序。