[发明专利]镀铜用电镀液及其制备方法

权利要求书

1.一种镀铜用电镀液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

(1)将铜盐、醌类化合物、邻苯二酚、硫酸钾、苹果酸、2,2’-联吡啶、络合剂、还原剂、稳定剂和水混合制得混合物M1；

(2)向所述混合溶液M1中加入碱，调节pH值为11-13，制得混合物M2；

(3)将所述混合物M2后处理制得镀铜用电镀液；

其中，所述醌类化合物为1,2-荼醌、1,4-荼醌和蒽醌中的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述铜盐为氯化铜、五水合硫酸铜和硝酸铜中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其中，所述络合剂选自四乙酸二氨基乙烷、环己烷二胺四乙酸和二乙三胺五乙酸中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述还原剂为乙二醛和/或三聚甲醛。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其中，所述稳定剂选自亚硫酸钠、聚氧乙烯山梨糖醇酐单硬酸酯和亚铁氰化钾中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其中，相对于100重量份的所述铜盐，所述醌类化合物的用为30-40重量份，所述邻苯二酚的用量为12-18重量份，所述硫酸钾的用量为5-10重量份，所述苹果酸的用量为10-14重量份，所述2,2’-联吡啶的用量为4-8重量份，所述络合剂用量为11-14重量份，所述还原剂用量为10-16重量份，所述稳定剂用量为2-6重量份，所述水用量为150-300重量份。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述碱为氢氧化锂、氢氧化钠和氢氧化钾中的一种或多种。

8.根据权利要求6或7所述的制备方法，其中，所述后处理的方法为：将所述混合物M2进行浓缩。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其中，所述浓缩的压力为0.5-2Pa，并且浓缩至所述混合物M2的含水量低于40％。

10.一种镀铜用电镀液，其特征在于，所述镀铜用电镀液根据权利要求1-9中任意一项所述方法制备而得。