[发明专利]基于红外辐射测量的激光功率计有效
| 申请号: | 201510399254.X | 申请日: | 2015-07-08 |
| 公开(公告)号: | CN105157830B | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
| 发明(设计)人: | 王涛;张玉莹;陆耀东;祝敏;郑天;徐丽;张丽雯;李鹏 | 申请(专利权)人: | 北京光电技术研究所 |
| 主分类号: | G01J1/56 | 分类号: | G01J1/56;G01J5/10 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 刘丹,黄健 |
| 地址: | 100010 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 红外 辐射 测量 激光 功率 | ||
1.一种基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述基于红外辐射测量的激光功率计包括:红外辐射转换器、会聚装置、斩波器、驱动器、第一探测器、第二探测器和控制处理器;其中,所述驱动器的输入端与所述控制处理器的第一输出端连接,所述驱动器的输出端与所述斩波器连接,所述控制处理器的第一输入端与所述第一探测器的输出端连接,所述控制处理器的第二输入端与所述第二探测器的输出端连接;
所述红外辐射转换器上设置有光感应区域,所述光感应区域用于吸收激光发射源发射的所述待测激光,其中所述待测激光为从紫外到远红外光谱区内的任一波长,并对吸收的所述待测激光进行光热转换,使所述光感应区域的温度升高并向外发射所述红外辐射线;
所述会聚装置位于所述红外辐射转换器和所述斩波器之间,并设置在所述红外辐射转换器所发射的所述红外辐射线所覆盖的范围内,用于接收所述光感应区域向外发射的所述红外辐射线,并将接收到的所述红外辐射转换器的所述光感应区域发射的红外辐射线会聚至所述第一探测器的光敏面;
所述斩波器位于所述第一探测器的光敏面和所述第二探测器的光敏面的正前方;
所述第一探测器用于对探测到所述红外辐射线和杂散光进行光电转换生成第一电信号,并发送给所述控制处理器;所述第二探测器用于对探测到的所述杂散光进行光电转换生成第二电信号,并发送给所述控制处理器;
所述控制处理器用于对所述第一电信号和所述第二电信号分别进行放大和滤波后生成第一子电信号和第二子电信号,并将所述第一子电信号的幅度与、第二子电信号的幅度和预先获取的加权系数的乘积相减,以获得第一子电信号和第二子电信号的幅度差值,并根据所述第一子电信号和第二子电信号的幅度差值与激光功率的对应关系确定出所述待测激光的激光功率,其中,所述加权系数为在校准过程中所述第一探测器和所述第二探测器探测同一杂散光生成的电信号的幅度的比值。
2.根据权利要求1所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述基于红外辐射测量的激光功率计还包括:第一带通光学滤波器和第二带通光学滤波器;
所述第一带通光学滤波器覆盖在所述第一探测器的光敏面,所述第二带通光学滤波器覆盖在所述第二探测器的光敏面。
3.根据权利要求1或2所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述基于红外辐射测量的激光功率计还包括:显示器;
所述显示器的输入端与所述控制处理器的第二输出端连接。
4.根据权利要求3所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述红外辐射转换器的所述光感应区域设置有吸光涂层。
5.根据权利要求4所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述会聚装置为透射式会聚装置,所述透射式会聚装置用于将所述红外辐射转换器发射的红外辐射线透射会聚至所述第一探测器的光敏面。
6.根据权利要求5所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述透射式会聚装置的入射面和出射面均镀有针对所述红外辐射线波长的增透膜。
7.根据权利要求4所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述会聚装置为反射式会聚装置,所述反射式会聚装置用于将所述红外辐射转换器发射的红外辐射线反射会聚至所述第一探测器的光敏面。
8.根据权利要求7所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述反射式会聚装置的反射面镀有针对所述红外辐射线波长的反射膜,所述反射膜为金膜、银膜、铜膜、铝膜或高反射介质膜;其中,所述高反射介质膜为对所述红外辐射线的反射率大于99.5%的反射介质膜。
9.根据权利要求1所述的基于红外辐射测量的激光功率计,其特征在于,所述第一探测器和所述第二探测器均为锑化铟InSb探测器,或者,所述第一探测器和所述第二探测器均为碲镉汞TgCdTe探测器。
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