[发明专利]一种用于相对面对准的视觉系统在审
| 申请号： | 201510352481.7 | 申请日： | 2015-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105023871A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 韩微微;高爱梅 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004 | 代理人： | 朱丽岩;李聚 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 相对 对准 视觉 系统 | ||
1.一种用于相对面对准的视觉系统，用于对相对的第一面和第二面进行成像，其特征在于，包括：
第一成像装置，用于对光线成像以产生第一图像信号；
第二成像装置，用于对光线成像以产生第二图像信号；
双面反射镜，所述双面反射镜具有第一反射面和第二反射面；所述双面反射镜设置在第一面和第二面之间；
所述第一反射面将来自第一面的光线反射到第一成像装置；
所述第二反射面将来自第二面的光线反射到第二成像装置。
2.根据权利要求1所述的用于相对面对准的视觉系统，其特征在于，所述第一成像装置包括：第一成像镜头和第一光电转换器；所述第一成像镜头用于对光线成像；所述第一光电转换器用于将光转换为第一图像信号。
3.根据权利要求2所述的用于相对面对准的视觉系统，其特征在于，所述第一成像装置还包括第一反射镜，所述第一反射镜用于将入射光线反射到第一成像镜头。
4.根据权利要求1-3任一项所述的用于相对面对准的视觉系统，其特征在于，所述第二成像装置包括：第二成像镜头和第二光电转换器；所述第二成像镜头用于对光线成像；所述第二光电转换器用于将光转换为第二图像信号。
5.根据权利要求4所述的用于相对面对准的视觉系统，其特征在于，所述第二成像装置还包括第二反射镜，所述第二反射镜用于将入射光线反射到第二成像镜头。
6.根据权利要求1所述的用于相对面对准的视觉系统，其特征在于，所述双面反射镜为在光学玻璃两面分别镀外反射膜制成；或者，所述双面反射镜为由金属镜片两表面分别抛光制成。
7.根据权利要求1所述的用于相对面对准的视觉系统，其特征在于，垂直所述第一面和第二面的直线与所述双面反射镜所在平面所成的角度为45度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
