[发明专利]钨钛管靶的制造方法在审
| 申请号： | 201510347491.1 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN106319457A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/12;B22F5/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钨钛管靶 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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