[发明专利]一种晶圆边缘缺陷的检测方法

权利要求书

1.一种晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，包括：

步骤S01：提供一缺陷检测设备，在创建晶圆边缘缺陷检测程序时，先确定在晶圆边缘的检测起始和结束位置，然后，通过检测光源对晶圆边缘整个需要检测的区域进行一次初始扫描，以对该检测区域进行信号采集；

步骤S02：将得到的整个检测区域的扫描面积模拟展开到一个长方形平面内，其长度为晶圆的圆周，宽度为检测起始位置与结束位置之间的晶圆边缘弧度；

步骤S03：定义以检测光源的宽度为扫描间隔基准，对长方形平面进行宽度方向的等面积划分；

步骤S04：根据缺陷检测的不同要求，选择不同的扫描间隔数，对检测区域内对应扫描间隔数的需扫描面积进行晶圆边缘缺陷的扫描检测；

其中，根据缺陷检测精度和检测速度的不同要求，选择不同的扫描间隔数，所述对应扫描间隔数的需扫描面积在整个所述检测区域中的扫描面积占比S与所述检测速度的倍率或扫描间隔数n之间的关系满足公式：

S＝1/(n+1)

其中，n为正整数。

2.根据权利要求1所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，对检测区域进行扫描时，使晶圆围绕其中心进行旋转，同时，使检测光源沿着晶圆的边缘自检测起始位置至结束位置进行弧线移动，对检测区域进行信号采集。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，所述检测光源垂直于晶圆的边缘自检测起始位置至结束位置进行弧线移动扫描。

4.根据权利要求1所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，步骤S04中，根据缺陷检测精度和检测速度的不同要求，选择不同的扫描间隔数，所述检测精度与检测速度或扫描间隔数之间具有反比对应关系。

5.根据权利要求4所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，所述检测精度与检测速度或扫描间隔数之间具有检测精度高时检测速度慢、扫描间隔数少的反比对应关系。

6.根据权利要求1所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，根据缺陷检测速度的不同要求，选择不同的扫描间隔数，所述检测速度的倍率与扫描间隔数之间具有数值一一对应关系。

7.根据权利要求1所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，所述检测速度的倍率或扫描间隔数n为1～9之间的正整数。

8.根据权利要求1所述的晶圆边缘缺陷的检测方法，其特征在于，将被所述扫描间隔数跳过的数据采集区域的光信号，采用前一个采集区域的信号数据进行填补，以得到一个模拟的完整缺陷信号。