[发明专利]一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及MEMS压阻式微压传感器技术领域，具体涉及一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法。

背景技术

随着微机械电子系统技术的发展，MEMS微压传感器已被广泛应用于风洞测试、生物医电等领域，尤其在航空航天领域，对传感器的体积、重量有严格要求，并要求传感器具有一定的灵敏度和固有频率。MEMS传感器无疑是十分理想的选择。例如在航空航天领域，对于飞行器深高空高度监测具有重要意义，而压力与高度有一定的比例关系，因而通过压力传感器就可反映出飞行器高度的变化。飞行器从发射到达到预定高度，大气压力从约100kPa变化到几百Pa，因而传感器除了能检测几百Pa的微压能力外，还必须具有高过载能力，以使其在地面大气作用下不会因大气压力造成破坏。又如在生物仪器领域，为了精确的进行移液工作，需要精密地检测液面高度的变化，可通过检测液体高度产生的微压变化来反应液面高度的变化，而毫米级液面高度对应的压力范围仅在几百Pa范围内。

不同敏感原理的压力传感器有着不同的优缺点。比如压电式压力传感器受其敏感原理的限制，不能测量静态压力，且输出的电荷信号需要后续复杂的辅助电路进行处理；电容式压力传感器具有灵敏度高、温漂小，功耗低等优点，但输入阻抗大，易受寄生电容的影响，对于周围环境的干扰较敏感；谐振式压力传感器具有较好的灵敏度以及较低的温漂，但与压阻式压力传感器相比其制作工艺更加复杂，成品率相对较低；压阻式压力传感器虽易受温度影响，但其测量范围广、可测量静态和动态信号，精度高，动态响应好，后处理电路简单。

压阻式压力传感器的关键结构是薄膜结构，四个压敏电阻条布置在薄膜边缘的应力集中位置，形成惠斯通全桥将应力转换为电学信号。随着薄膜结构厚度的减薄，传感器对压力的灵敏度会提高，但传感器的非线性也会增加，从而加大了信号处理的难度。

我国目前的MEMS微压传感器主要还停留在kPa级上，不能满足航天领域对Pa级微压测量的要求，也不能适应诸如对深高空微压精确测量技术、生物医疗器械中的精确微压测量等领域的需求。因此，如何实现Pa级的超低微压测量，解决灵敏度与频响特性、灵敏度与非线性度之间的矛盾，保证微压传感器的高灵敏度、高频响特性以及高过载能力，是保障微压传感器进行可靠、精确测量而亟待突破的关键技术难点。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法，能够对Pa级微压进行测量，具有灵敏度高、线性度好、精度高、动态性能好等特点，同时能够承受相当于满量程若干倍的高过载，该结构制作方法简单，可靠性高，易于批量化生产。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片，包括基底1中部设有的薄膜2，四条浅槽3-1、3-2、3-3、3-4沿着薄膜2上部边缘均匀分布，四条浅槽3-1、3-2、3-3、3-4的深度为薄膜2厚度的5％～90％；四条浮雕梁4-1、4-2、4-3、4-4设置于相邻两条浅槽的端部之间且与基底1相连，四条浮雕梁4-1、4-2、4-3、4-4上表面高出薄膜2上表面的高度为薄膜2厚度的5％～90％，浮雕梁4-1、4-2、4-3、4-4的上表面、薄膜2的上表面与浅槽3-1、3-2、3-3、3-4的底面组成了梁槽结合台阶式薄膜结构，四个压敏电阻条7-1、7-2、7-3、7-4分别按应力分布规律均匀布置在四条浮雕梁4-1、4-2、4-3、4-4上，且压敏电阻条7-1、7-2、7-3、7-4的有效长度方向沿着压阻系数最大的晶向；焊盘9布置在基底1上表面；金属引线8将四个压敏电阻条7-1、7-2、7-3、7-4相互连接成半开环惠斯通电桥，并且将电桥的输出端与焊盘9连接；

四个凸块6-1、6-2、6-3、6-4沿薄膜2下部边缘均匀分布，且与基底1相连；四个质量块5-1、5-2、5-3、5-4与凸块6-1、6-2、6-3、6-4图形的对称轴相重合且与凸块6-1、6-2、6-3、6-4在沿对称轴方向上间隔有距离，凸块6-1、6-2、6-3、6-4连接在薄膜2上；

基底1背面与防过载玻璃10键合在一起。

所述的薄膜2的膜宽厚比为70～700：1。