[发明专利]滤光器、光学模块及电子设备

说明书

本申请根据于2014年2月28日提交的日本专利申请No.2014-038179的内容，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及滤光器、光学模块及电子设备。

背景技术

目前使用一种从入射光中选择指定波长的光并使其通过的滤光器。并且，专利文献1中公开了使指定波长的光通过的滤光器。该滤光器中，对向配置一对基板，在上述基板的对向面上分别设置有反射膜。

该滤光器选择性地取出与对向的一对反射膜间的间隙对应的波长的光。通过设置于基板间的分隔膜的厚度设定反射膜间的间隙。

在基板上设置氧化钛的基膜，与该膜重叠而设置反射膜。将反射率良好的银膜用于反射膜。银膜当暴露于空气中时会受到硫化或湿度的影响而劣化。因此，覆盖反射膜而设置保护膜，防止反射膜的劣化。将SiO₂、TiO₂、ZnS、CaF₂、SiN₄、Al₂O₃等的无机物质或聚酰亚胺、各种光刻胶等的有机材料用于该保护膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平1-300202号公报

用于反射膜的银或银合金的膜为金属组织的排列易于变位的膜。并且，当在反射膜的表面和里面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘(hillock)”或“晶须(whisker)”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在专利文献1中，虽然反射膜被基膜和保护膜夹着，但没有采取对于两面的应力差的对策。因此，希望一种能够长期地抑制反射膜的两面中的内部应力之差而导致的突起的出现、能够高精度地使规定的波长的光透过的构造的滤光器。

发明内容

本发明为了解决上述的问题而通过以下的方式或者适用例而实现。

[适用例1]

本适用例涉及的滤光器的特征在于具备：固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。

根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜反射入射光。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。

夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。

第一导电膜和第二导电膜为相同材质、相同膜厚。当不在反射膜的第一面设置导电膜、不在第二面设置导电膜时，反射膜中的第一面和第二面的应力分布为不同的分布。此时，在反射膜中，当在第一面和第二面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本适用例中，夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同材质、相同膜厚。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器能够长期地高精度地使规定的波长的光透过。

[适用例2]

在上述适用例涉及的滤光器中，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同形状。

根据本适用例，第一导电膜和第二导电膜为相同形状。因此，夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同的应力分布。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。

[适用例3]

在上述适用例涉及的滤光器中，其特征在于，所述第一导电膜及所述第二导电膜的材质包含IGO。

根据本适用例，第一导电膜及第二导电膜的材质包含IGO。IGO的光透过性良好，在可视区域具有大致80％以上的透过性。因此，能够高效率地使规定的波长的光通过。

[适用例4]

在上述适用例涉及的滤光器中，所述第一反射膜和所述第二反射膜被电连接。