[发明专利]基板检查探测装置和基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查探测装置，具备检查单元，上述检查单元具有与被检查基板上的检查用的端子部接触的探测器，上述基板检查探测装置检查上述端子部与上述探测器的导通，其特征在于，

具备多个探测器群，各个上述探测器群中的上述探测器按照构成上述端子部的多个端子彼此的排列间距而配置，不同的上述探测器群中的上述探测器彼此在端子的排列方向上错开配置，

设有：连接状态确认部，其确认上述多个探测器群中的至少1个探测器群的电连接状态；以及

切换部，其针对各端子将与上述检查单元电连接的探测器群切换为其它探测器群。

2.根据权利要求1所述的基板检查探测装置，其特征在于，

上述连接状态确认部在上述多个端子中的1个端子内确认规定的电连接状态。

3.根据权利要求2所述的基板检查探测装置，其特征在于，

具备附设探测器，上述附设探测器附设于在确认上述电连接状态的1个端子上配置的不同的探测器群的探测器间。

4.根据权利要求1所述的基板检查探测装置，其特征在于，

上述连接状态确认部确认上述多个端子中的2个端子间的规定的电连接状态。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板检查探测装置，其特征在于，

上述切换部在由上述连接状态确认部未确认到规定的电连接状态的情况下，切换与上述检查单元电连接的探测器群。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板检查探测装置，其特征在于，

上述探测器的与上述端子的接触部分的宽度小于相邻的上述端子间的间隔。

7.根据权利要求5所述的基板检查探测装置，其特征在于，

上述探测器的与上述端子的接触部分的宽度小于相邻的上述端子间的间隔。

8.根据权利要求1至4、7中的任一项所述的基板检查探测装置，其特征在于，

具备FPC，

上述探测器形成为上述FPC上的配线图案，在该配线图案中形成有凸块。

9.根据权利要求5所述的基板检查探测装置，其特征在于，

具备FPC，

上述探测器形成为上述FPC上的配线图案，在该配线图案中形成有凸块。

10.根据权利要求6所述的基板检查探测装置，其特征在于，

具备FPC，

上述探测器形成为上述FPC上的配线图案，在该配线图案中形成有凸块。

11.一种基板检查方法，使设于检查单元的探测器与被检查基板上的检查用的端子部接触，检查上述端子部与上述探测器的导通，其特征在于，

上述探测器构成了按照构成上述端子部的多个端子彼此的排列间距而配置的多个探测器群，不同的上述探测器群中的上述探测器彼此在端子的排列方向上错开配置，

上述基板检查方法包括：确认工序，确认上述多个探测器群中的至少1个探测器群的电连接状态；以及

切换工序，针对各端子将与上述检查单元电连接的探测器群切换为其它探测器群，

在上述确认工序中未确认到规定的电连接状态的情况下，在上述切换工序中切换与上述检查单元电连接的探测器群。

12.根据权利要求11所述的基板检查方法，其特征在于，

在上述确认工序中，在上述多个端子中的1端子内确认规定的电连接状态。

13.根据权利要求11所述的基板检查方法，其特征在于，

在上述确认工序中，确认上述多个端子中的2个端子间的规定的电连接状态。