[发明专利]阵列基板及其断线修补方法有效
| 申请号: | 201510074075.9 | 申请日: | 2015-02-12 |
| 公开(公告)号: | CN104597679B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
| 发明(设计)人: | 李珊 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/13;H01L23/50 |
| 代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 阵列 及其 断线 修补 方法 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:基板(1),位于所述基板(1)上的栅极扫描线(2),位于所述栅极扫描线(2)和基板(1)上的栅极绝缘层(4),位于所述栅极绝缘层(4)上的源漏极数据线(5),位于所述源漏极数据线(5)与栅极绝缘层(4)上的第一钝化层(8),位于所述第一钝化层(8)上的有机层(9),以及位于所述有机层(9)与第一钝化层(8)上的第二钝化层(10);
其中,所述栅极扫描线(2)与源漏极数据线(5)在基板(1)上垂直交叉排列,所述有机层(9)上对应于栅极扫描线(2)与源漏极数据线(5)的交叉口处形成有第一通孔,所述第二钝化层(10)沉积于该第一通孔处形成第一开口(11);
所述第一开口(11)用于当所述阵列基板上的栅极扫描线(2)或源漏极数据线(5)发生断线时,通过在栅极扫描线(2)或源漏极数据线(5)上位于断线处两端的第一开口(11)之间利用镭射化学气相沉积形成金属长线(16),使得断开的栅极扫描线(2)或源漏极数据线(5)恢复连接。
2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第一开口(11)的大小为15μm×15μm。
3.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述有机层(9)为色阻层或者平坦层;所述第一钝化层(8)和第二钝化层(10)的材料为无机材料;所述有机层(9)的厚度大于所述第一钝化层(8)和第二钝化层(10)的厚度。
4.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板上对应源漏极数据线(5)上两相邻的第一开口(11)之间还设有第二开口(13),所述第二开口(13)通过所述第二钝化层(10)沉积于有机层(9)上的第二通孔处形成。
5.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板上对应栅极扫描线(2)上两相邻的第一开口(11)之间还设有第三开口(14),所述第三开口(14)通过所述第二钝化层(10)沉积于有机层(9)上的第三通孔处形成。
6.如权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述第二开口(13)的大小为7μm×7μm。
7.如权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述第三开口(14)的大小为7μm×7μm。
8.一种阵列基板的断线修补方法,其特征在于,所述阵列基板包括:基板(1),位于所述基板(1)上的栅极扫描线(2),位于所述栅极扫描线(2)和基板(1)上的栅极绝缘层(4),位于所述栅极绝缘层(4)上的源漏极数据线(5),位于所述源漏极数据线(5)与栅极绝缘层(4)上的第一钝化层(8),位于所述第一钝化层(8)上的有机层(9),以及位于所述有机层(9)与第一钝化层(8)上的第二钝化层(10);
其中,所述栅极扫描线(2)与源漏极数据线(5)在基板(1)上垂直交叉排列,所述有机层(9)上对应于栅极扫描线(2)与源漏极数据线(5)的每一交叉口处形成有第一通孔,所述第二钝化层(10)沉积于该第一通孔处形成第一开口(11);
当所述阵列基板上的栅极扫描线(2)或源漏极数据线(5)发生断线时,通过在栅极扫描线(2)或源漏极数据线(5)上位于断线处两端的第一开口(11)之间利用镭射化学气相沉积形成金属长线(16),使得断开的栅极扫描线(2)或源漏极数据线(5)恢复连接。
9.如权利要求8所述的阵列基板的断线修补方法,其特征在于,所述阵列基板上对应源漏极数据线(5)上两相邻的第一开口(11)之间还设有第二开口(13),所述第二开口(13)通过所述第二钝化层(10)沉积于有机层(9)上的第二通孔处形成;
当所述阵列基板上的源漏极数据线(5)发生断线,且所述源漏极数据线(5)上两相邻的第一开口(11)之间的距离较大,超过机台断线修补能力时,在断线处两端的第一开口(11)和第二开口(13)之间通过镭射化学气相沉积形成金属长线(16),使得断开的源漏极数据线(5)恢复连接。
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