[发明专利]检查系统以及检查方法有效
| 申请号： | 201480077379.4 | 申请日： | 2014-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN106133515B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 远藤久 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01N27/83 | 分类号： | G01N27/83;G01B11/30;G01R33/032 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;曹鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 探头 系统 以及 方法 | ||
【说明书】：
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