[发明专利]易取灯头

权利要求书

1.一种灯头组件，所述灯头组件包括：

用于发射辐射能的多个灯；

多个灯适配器，其中所述多个灯的每一个灯附接至相应的灯适配器；和

具有多个开口的功率分配组件，其中所述功率分配组件可移除地耦接至所述多个灯适配器并且能操作以通过各个灯适配器向各个灯提供功率，且所述多个开口中的各个开口被调整尺寸以允许一个灯从中通过，且其中所述多个灯适配器具有从所述功率分配组件的中心至所述功率分配组件的边缘在径向向外方向上逐渐增加的高度。

2.如权利要求1所述的灯头组件，其中所述功率分配组件是具有增加直径的多个同心圆区域的单个平坦电路系统板，并且各个圆区域含有所述开口中的一个或更多个。

3.如权利要求1所述的灯头组件，其中各个灯适配器具有与所述开口内所形成的电接触端子电气连通的电接触元件。

4.如权利要求1所述的灯头组件，其中所述多个灯的每一个具有相同的高度。

5.一种灯头组件，所述灯头组件包括：

用于发射辐射能的多个灯；

多个灯适配器，其中所述多个灯的每一个灯附接至相应的灯适配器；和

具有多个开口的功率分配组件，其中所述功率分配组件可移除地耦接至所述多个灯适配器，其中所述功率分配组件由不同高度处的多个同心环型电路系统板组成，且各个环型电路系统板含有所述开口中的一个或更多个，并且其中所述功率分配组件能操作以通过各个灯适配器向各个灯提供功率，且所述多个开口中的各个开口被调整尺寸以允许一个灯从中通过。

6.一种处理腔室，所述处理腔室包括：

腔室主体，所述腔室主体具有上拱顶和与所述上拱顶相对的下拱顶；

基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述腔室主体内；

灯头组件，所述灯头组件邻近于所述下拱顶安置，其中所述灯头组件具有多个灯和多个灯适配器，其中所述多个灯的每一个灯具有电接触端子并且附接至相应的灯适配器，并且所述多个灯适配器具有根据所述下拱顶的轮廓选择的高度；和

功率分配组件，所述功率分配组件耦接至所述灯头组件以向所述多个灯提供功率，其中所述功率分配组件是具有增加直径的多个同心圆区域的单个平坦电路系统板，其中所述多个同心圆区域的每一个围绕所述下拱顶中所形成的中央开口，且各个同心圆区域含有一个或更多个开口，其中各个开口被调整尺寸以允许一个灯从中通过。

7.如权利要求6所述的处理腔室，其中所述灯适配器具有与所述开口内所形成的电接触端子电气连通的电接触元件。

8.如权利要求6所述的处理腔室，其中所述灯根据所述下拱顶的轮廓具有不同高度。

9.如权利要求6所述的处理腔室，其中所述电接触端子与各个开口的内部圆周表面中所形成的导电容器电气连通，并且所述导电容器以搭扣配合或扭转锁定啮合接收接触引线以将所述多个灯通过所述多个灯适配器电气连接至功率源。

10.一种处理腔室，所述处理腔室包括：

灯头组件，所述灯头组件具有用于发射辐射能的多个灯，其中所述多个灯的每一个具有电接触端子；

功率分配组件，所述功率分配组件耦接至所述灯头组件，其中所述功率分配组件向所述多个灯提供功率且具有多个开口，各个开口被调整尺寸以允许一个灯从中通过，并且其中所述功率分配组件由不同高度处的多个同心环型电路系统板组成，且各个环型电路系统板含有所述开口中的一个或更多个；

电压数据采集(DAQ)模块，所述电压DAQ模块被配置成在沿由所述多个灯中的串联灯的组形成的电路路径的不同取样位置处取样电压信号；和

控制器，所述控制器被配置成从所述电压DAQ模块接收所述取样电压信号的数字值，所述控制器基于跨越所述灯的至少两者的电压降检测所述串联灯之一或更多者中的故障，所述电压降由所述取样电压信号所确定。