[发明专利]流量控制阀和使用该流量控制阀的质量流量控制装置

权利要求书

1.一种流量控制阀，该流量控制阀包括：

基部，在该基部设有流体的流路；

阀座，其为环状，该阀座与所述流路相连通且该阀座具有面向所述基部的一个表面的开口部；

隔膜，其包括以覆盖所述阀座的开口部的方式配置的薄板状的弹性体；

环状构件，其隔着所述隔膜地位于与所述阀座相反的一侧，该环状构件将所述隔膜的外周部按压于所述基部从而固定所述隔膜；

隔膜垫片，其隔着所述隔膜地位于与所述阀座相反的一侧，该隔膜垫片通过使所述隔膜的中央部向所述阀座的方向或与所述阀座的方向相反的方向位移从而对所述阀座的开口部的开度进行控制；

层叠压电驱动器，其层叠有多个压电元件；以及

应力传递部件，其将因所述层叠压电驱动器的膨胀而产生的应力传递至所述隔膜垫片，

该流量控制阀的特征在于，

所述环状构件和所述隔膜垫片均由热导率为20W/m·K以下的材料形成，所述环状构件和所述隔膜垫片构成第1热屏蔽件，

由所述第1热屏蔽件和所述应力传递部件围成的空间构成第2热屏蔽件。

2.根据权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于，

在所述第2热屏蔽件与所述应力传递部件的中间具有由热导率为20W/m·K以下的材料形成的第3热屏蔽件。

3.根据权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于，

在所述层叠压电驱动器的周围设有冷却部件。

4.根据权利要求2所述的流量控制阀，其特征在于，

在所述层叠压电驱动器的周围设有冷却部件。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流量控制阀，其特征在于，

热导率为20W/m·K以下的所述材料是从包括MACOR和氧化锆的组中选择出的1种或两种陶瓷材料，MACOR是Corning Incorporated的注册商标。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的流量控制阀，其特征在于，

在所述流路中流动的流体的温度为250℃时，所述层叠压电驱动器的下端的温度为110℃以下，并且，

在使所述层叠压电驱动器的长度为La、自所述隔膜到所述层叠压电驱动器的下端为止的距离为Ls时，La/(La+Ls)的值为0.65以上，同时在0.95以下。

7.根据权利要求5所述的流量控制阀，其特征在于，

在所述流路中流动的流体的温度为250℃时，所述层叠压电驱动器的下端的温度为110℃以下，并且，

在使所述层叠压电驱动器的长度为La、自所述隔膜到所述层叠压电驱动器的下端为止的距离为Ls时，La/(La+Ls)的值为0.65以上，同时在0.95以下。

8.一种质量流量控制装置，其中，

该质量流量控制装置包括：

权利要求1至7中任一项所述的流量控制阀；以及

质量流量计，其设于所述流路，用于测量流体的质量流量。