[发明专利]研磨工具、研磨方法和研磨装置

说明书

技术领域

本发明涉及进行透镜等光学元件的表面精加工的研磨工具、研磨方法和研磨装 置。

背景技术

通常，作为透镜、棱镜、反射镜等光学元件的表面精加工，使将聚氨酯制的研磨 用片粘接而成的研磨工具与被研磨物相互滑动，并通过夹设于界面的研磨用磨粒，进 行研磨加工。

近年来，要求没有表面缺陷、且形状精度高的光学元件，作为提高被加工物的精 加工精度的研磨装置，提出了具备以下单元的研磨装置：使研磨用工具旋转的单元； 使被加工物旋转的单元；使研磨用工具与被加工物之间的相对位置关系摆动的摆动单 元(例如，参照专利文献1)。

此外，提出了对被研磨物进行研磨的研磨工具，在该研磨工具中，从研磨工具的 旋转轴至对被研磨物进行研磨的作用面的外周形状的距离在旋转方向上不是恒定的 (例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平09-300191号公报

专利文献2：日本特开2006-136959号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1中，需要购买新的装置，在专利文献2中，具有难以将研磨面形成 为椭圆状等问题。

本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够在利用已有的研磨 装置的同时，提高被研磨物的面精度的研磨工具、研磨方法和研磨装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述问题并达成目的，本发明的研磨工具的特征在于，具备：研磨面， 其具有规定的曲率半径；以及空孔，其在所述研磨面的内侧，以旋转轴为中心，在与 旋转轴垂直的投影面上，与所述研磨面的外缘呈同心圆状，所述研磨面呈球带状，所 述研磨面的外径与内径之比大于1.0且小于等于6.0。

此外，本发明的研磨工具在上述发明中，其特征在于，所述研磨面的球带宽度与 被研磨物的外径之比大于等于0.9。

此外，本发明的研磨方法是使用了以上所述的研磨工具的研磨方法，其特征在于， 在使所述研磨工具以所述旋转轴为中心来进行旋转的同时，以如下位置为基准点，在 一定的摆动幅度内，改变所述被研磨物与所述研磨工具之间的相对角度来研磨所述被 研磨物，在所述位置处，通过所述被研磨物的中心并且与所述旋转轴相交的直线通过 所述研磨面的球带的宽度方向的中心。

此外，本发明的研磨装置的特征在于，具备：以上所述的研磨工具；加压单元， 其使所述被研磨物抵接所述研磨工具的研磨面而进行加压；旋转单元，其使所述研磨 工具以所述旋转轴为中心进行旋转；以及摆动单元，其以如下位置为基准点，在一定 的摆动幅度内，改变所述被研磨物与所述研磨工具的之间的相对角度，在所述位置处， 通过所述被研磨物的中心并且与所述旋转轴相交的直线通过所述研磨面的球带的宽 度方向的中心。

发明的效果

根据本发明，能够在不导入新的控制装置等的情况下，在利用已有的装置的同时， 提高被研磨物的面精度。

附图说明

图1是示出本发明实施方式的研磨装置的结构的示意图。

图2是在图1中使用的研磨工具的剖视图。

图3是图2的研磨工具的俯视图。

图4是说明利用图1的研磨装置进行的透镜研磨的示意图(剖视图)。

图5是说明利用图1的研磨装置进行的透镜研磨的示意图(俯视图)。

图6是说明利用以往的研磨工具进行的研磨的示意图(剖视图)。

图7是说明利用以往的研磨工具进行的研磨的示意图(俯视图)。

图8A是本发明实施方式的变形例1的研磨工具的剖视图。

图8B是说明利用本发明实施方式的变形例2的研磨工具进行的透镜研磨的示意 图(剖视图)。

图9是针对利用实施例1的研磨工具进行研磨后的透镜面，示出参照透镜的与基 准球面的差分的图。

图10是针对利用实施例2的研磨工具进行研磨后的透镜面，示出参照透镜的与 基准球面的差分的图。

图11是针对利用实施例3的研磨工具进行研磨后的透镜面，示出参照透镜的与 基准球面的差分的图。

图12是针对利用以往的研磨工具(比较例)进行研磨后的透镜面，示出参照透 镜的与基准球面的差分的图。