[发明专利]薄膜室被抽空时的气密性测试

权利要求书

1.一种用于在由柔性材料制成的薄膜室内测试含有气体的样品的密封性的方法，其中所述薄膜室被真空泵抽空；

其特征在于：

从所述薄膜室流出的由所述真空泵产生的气流在抽空阶段中被测量并且关于所述样品的可能的泄漏处被检查；一定期间内的被测得的气体流量被与所述一定期间内的参考气体流量进行比较，所述参考气体流量即气密的样品的气体流量。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述一定期间内的参考气体流量被优先地测量和存储。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：泄漏速率被通过从所述被测得的气体流量中减去所述参考气体流量来确定。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述测量通过设置于所述真空泵的排气气流中的气流传感器做出。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述测量在气体输送系统，连接所述薄膜室与所述真空泵的管道系统的节流点被执行。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：从一个泵出管路流向另一个的流量在所述抽空阶段期间被测量，并且被用作所述样品的泄漏速率的测量标准。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述抽空阶段期间的两个泵出管路之间的压力差被用作所述样品的泄漏速率的测量标准。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在所述测量之前，所述样品外部的所述薄膜室中的气体的量相对于所述样品内部的气体的量的比例被减小。