[发明专利]感光性树脂元件有效
| 申请号: | 201480043077.5 | 申请日: | 2014-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN105474094B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
| 发明(设计)人: | 五十岚勉;木野智博 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/09;H01L21/027 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 元件 | ||
1.一种感光性树脂元件,其为包含支撑层和所述支撑层上的感光性树脂层的感光性树脂元件,
所述感光性树脂层包含:
(a)羧基含量以酸当量计为100~600、并且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、(b)可以光聚合的不饱和化合物、(c)光聚合引发剂、以及(d)溶剂,
所述感光性树脂层以所述感光性树脂层的质量基准计包含0.001质量%以上且0.7质量%以下的量的所述(d)溶剂,
所述感光性树脂层包含由下述通式(I)表示的化合物或由下述通式(III)表示的化合物,并且包含选自由对三羟甲基丙烷平均加成总计3单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计3单位的环氧丙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计6单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计9单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计12单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计21单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、以及对三羟甲基丙烷平均加成总计30单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少一种化合物作为所述(b)可以光聚合的不饱和化合物,
作为所述(d)溶剂,包含丙二醇单甲醚、甲苯或丙酮,
式(I)中,R1以及R2分别独立地表示氢原子或甲基,A表示C2H4基,B表示CH2CH(CH3)基,m1+m2为2~30的整数,m3+m4为0~30的整数,m1以及m2分别独立地为1~29的整数,m3以及m4分别独立地为0~29的整数,-(A-O)-以及-(B-O)-的重复单元的排列任选无规或嵌段,嵌段的情况下,任选-(A-O)-以及-(B-O)-的任一者为联苯基侧,
式(III)中,R7~R11分别独立地表示氢原子或甲基,A1表示C2H4基,B1表示CH2CH(CH3)基,n5+n6为0~30的整数,n7+n8为0~30的整数,n5以及n6分别独立地为0~30的整数,n7以及n8分别独立地为0~30的整数,-(O-A1)-以及-(O-B1)-的重复单元的排列任选无规或嵌段,嵌段的情况下,任选-(O-A1)-以及-(O-B1)-的任一者为氨基甲酸酯基侧。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂元件,其中,作为所述(d)溶剂包含丙二醇单甲醚。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂元件,其中,作为所述(d)溶剂包含甲苯。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂元件,其中,作为所述(d)溶剂包含丙酮。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂元件,其中,作为所述(b)可以光聚合的不饱和化合物包含由所述通式(I)表示的化合物以及选自由对三羟甲基丙烷平均加成总计3单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计3单位的环氧丙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计6单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计9单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计12单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、对三羟甲基丙烷平均加成总计21单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯、以及对三羟甲基丙烷平均加成总计30单位的环氧乙烷而得到的三(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少一种化合物。
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