[发明专利]液体喷头和制造该液体喷头的方法

权利要求书

1.一种液体喷头，包括用于喷射液体的喷嘴，其中，相对于喷嘴的喷嘴内壁表面凹陷的凹陷部分被形成在喷嘴内壁上的、喷嘴的内径为15μm以下的区域中；凹陷部分具有中空形状和槽形状之一：中空形状的中空部分开口的最大面积为0.8μm²以上且20μm²以下；槽形状的槽宽度为1μm至6μm，槽深度为0.5μm至6μm。

2.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，凹陷部分被形成在喷嘴内壁上的这一区域中，所述区域从喷嘴的具有最小内径的部分延伸到内径为喷嘴的所述最小内径的两倍的部分。

3.一种用于制造液体喷头的方法，该液体喷头包括用于喷射液体的喷嘴，通过包括以下步骤的方法制造所述喷嘴：

通过电镀方式使含Ni-P金属和含Ni-B金属之一粘附到由含Cu金属形成且具有凸起形状部分的构件上，以覆盖凸起形状部分；

使所述构件与蚀刻剂相互接触以通过蚀刻方式移除凸起形状部分，从而露出覆盖凸起形状部分的含Ni-P金属和含Ni-B金属之一，以形成孔部分，并且使Cu残余粘附到孔部分的表面上；以及

通过使含硫酸的溶液接触孔部分的Cu残余已经粘附到其上的表面，从而在孔部分的所述表面上形成呈中空形状的凹陷部分。

4.根据权利要求3所述的用于制造液体喷头的方法，其中，通过用立铣刀加工含Cu的金属构件以将凸起形状部分形成在所述金属构件上，从而制造由含Cu的金属形成并具有凸起形状部分的构件。

5.根据权利要求3所述的用于制造液体喷头的方法，其中，蚀刻剂包括碱性溶剂。

6.根据权利要求3所述的用于制造液体喷头的方法，其中，通过在蚀刻剂保留在孔部分的表面上的情况下进行干燥，将Cu残余粘附到孔部分的表面上。

7.一种用于制造液体喷头的方法，所述液体喷头包括用于喷射液体的喷嘴，通过包括下述步骤的方法制造所述喷嘴：

在由含Cu金属形成且具有凸起形状部分的构件的所述凸起形状部分中形成凸起部分；

通过电镀方式使含Ni-P金属和含Ni-B金属之一粘附到具有凸起形状部分的所述构件上以覆盖所述凸起形状部分，所述凸起部分被形成在所述凸起形状部分中；和

使所述构件和蚀刻剂相互接触以通过蚀刻方式移除凸起形状部分，从而露出覆盖所述凸起形状部分的含Ni-P金属和含Ni-B金属之一，以形成孔部分，在所述孔部分中以槽形状形成凹陷部分。

8.根据权利要求7所述的用于制造液体喷头的方法，其中，在所述凸起形状部分中形成凸起部分的步骤包括：用立铣刀研磨由含Cu金属形成的构件，从而形成所述凸起形状部分和凸起部分。

9.根据权利要求7所述的用于制造液体喷头的方法，其中，蚀刻剂包括碱性溶剂。