[发明专利]无铅压电陶瓷组合物、使用其的压电元件、装置、及无铅压电陶瓷组合物的制造方法有效
| 申请号: | 201480019347.9 | 申请日: | 2014-03-11 |
| 公开(公告)号: | CN105102398B | 公开(公告)日: | 2017-07-11 |
| 发明(设计)人: | 山崎正人;松冈誉幸;北村和昭;小塚久司;山田嗣人;仓桥利明;笠岛崇;沖村康之;大林和重 | 申请(专利权)人: | 日本特殊陶业株式会社 |
| 主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;C04B35/00;H01L41/113;H01L41/187;H01L41/333;H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 陶瓷 组合 使用 元件 装置 制造 方法 | ||
1.一种无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,其包含主相和副相,
所述主相由具有压电特性且包含碱类铌酸盐/钽酸盐钙钛矿氧化物的第一结晶相形成,
所述副相包含第二结晶相,所述第二结晶相包含M-Ti-O系尖晶石化合物,其中,元素M为1~4价的元素,
所述M-Ti-O系尖晶石化合物包含2种以上的金属元素作为所述元素M,
所述无铅压电陶瓷组合物中的所述第二结晶相的含有比率为1.0体积%以上且2.0体积%以下。
2.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述元素M包含Li、Mg、Al、Sc、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ga、Y、Zr中的2种以上的金属元素。
3.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述M-Ti-O系尖晶石化合物由组成式MxTiOy表示,其中,系数x、y为将Ti含量设为1时的相对值,所述系数x满足0.5≤x≤5.0。
4.根据权利要求3所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述系数y满足2≤y≤8。
5.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述副相填充所述主相之间形成的空孔。
6.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述副相除了包含所述第二结晶相以外,还包含第三结晶相,所述第三结晶相包含A3B5O15系化合物,其中,元素A为1~2价的金属,元素B为2~5价的金属。
7.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
将所述副相整体设为100%时的所述第二结晶相的体积比率为50%以上。
8.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
形成所述第一结晶相的碱类铌酸盐/钽酸盐钙钛矿氧化物包含碱土金属。
9.根据权利要求8所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
形成所述第一结晶相的碱类铌酸盐/钽酸盐钙钛矿氧化物由组成式(KaNabLicCd)e(DfEg)Oh表示,其中,元素C为Ca、Sr、Ba中的一种以上,元素D为Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Sn、Sb、Si中的至少包含Nb或Ta的一种以上,元素E为Mg、Al、Sc、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ga、Y中的一种以上,a+b+c+d=1,e为任意值,f+g=1,h为构成钙钛矿的任意值。
10.根据权利要求9所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述系数e满足0.88≤e≤1.07。
11.根据权利要求1所述的无铅压电陶瓷组合物,其特征在于,
所述碱类铌酸盐/钽酸盐钙钛矿氧化物为碱类铌酸盐钙钛矿氧化物。
12.一种压电元件,其特征在于,其具备:
由权利要求1~11中的任一项所述的无铅压电陶瓷组合物形成的压电陶瓷;和
安装在所述压电陶瓷上的电极。
13.一种装置,其特征在于,其具备权利要求12所述的压电元件。
14.根据权利要求13所述的装置,其特征在于,所述装置为爆震传感器、超声波振子、切削工具、超声波传感器和促动器中的任意者。
15.一种权利要求1~11中的任一项所述的无铅压电陶瓷组合物的制造方法,其特征在于,该方法具备如下工序:
将所述第一结晶相的原料混合、预煅烧而制作第一粉末的工序;
将所述第二结晶相的原料混合、预煅烧而制作第二粉末的工序;和
通过将所述第一粉末和第二粉末混合、成型、煅烧来制成所述无铅压电陶瓷组合物的工序,
所述煅烧是将成型体封入密闭容器内并进行煅烧的密闭煅烧。
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