[发明专利]用于修正坐标测量仪运行时的角度偏差的方法有效
| 申请号: | 201480016048.X | 申请日: | 2014-03-13 |
| 公开(公告)号: | CN105051489B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
| 发明(设计)人: | A·富克斯;T·黑尔德;R·萨格米勒;D·塞茨 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
| 主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
| 地址: | 德国奥*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 修正 坐标 测量仪 运行 角度 偏差 方法 | ||
1.用于修正坐标测量仪(211)的运动轴X,Y,Z之间的实际角度相对于理想角度的至少一个角度偏差的方法,其中,所述角度偏差与地点相关,该方法包括如下步骤:
a-1)以如下方式求取与地点相关的角度偏差的值
i)针对该坐标测量仪的至少两个部分测量区域(15,20)分别求取至少一个值,所述至少两个部分测量区域仅构成该坐标测量仪的总测量区域(30)的一部分,其中,针对该坐标测量仪的不同的部分测量区域求取的与地点相关的角度偏差的值不相同或能够不相同,和/或
ii)针对该坐标测量仪的至少一个部分测量区域(15)求取至少一个值并且针对该坐标测量仪的总测量区域(30)求取所述角度偏差的至少一个值,其中,针对该坐标测量仪的部分测量区域的所述至少一个求取的值与针对总测量区域的所述至少一个值不相同或能够不相同,和
b-1)在使用所述至少一个求取的值的情况下,修正该坐标测量仪的一个或多个部分测量区域(15,20)中的与地点相关的角度偏差,其中针对所述部分测量区域已经求取与地点相关的角度偏差的至少一个值。
2.如权利要求1所述的方法,其中,所述部分测量区域(15,20)中的至少一个是连续的线性区域、连续的面区域或连续的体区域。
3.如权利要求1或2所述的方法,其中,所述部分测量区域分别通过一个行驶轴的一个区段、或通过两个行驶轴的区段、或通过三个或更多个行驶轴的区段形成并且形成所述坐标测量仪的总测量区域(30)的一部分。
4.如权利要求1或2所述的方法,其中,附加地修正所述坐标测量仪的至少一个行驶轴的平移导向偏差。
5.如权利要求1或2所述的方法,其中,所述与地点相关的角度偏差通过装载质量决定,所述装载质量仅在一个部分测量区域中导致与地点相关的角度偏差,其中,该装载质量引起力或力矩。
6.如权利要求1或2所述的方法,其中,附加地修正所述坐标测量仪的至少一个行驶轴的旋转导向偏差。
7.如权利要求1或2所述的方法,其中,将一个部分测量区域中的角度偏差与该坐标测量仪的部分沿一运动轴的实际运动相对于该坐标测量仪的所述部分沿该运动轴的理想运动的旋转导向偏差一起考虑,其方式是,形成用于修正角度偏差和轴偏差的修正函数,并且,为了形成所述修正函数而使用所述至少一个部分测量区域中的所述角度偏差的值和所述旋转导向偏差的值。
8.如权利要求1或2所述的方法,其中,在修正所述至少一个部分测量区域中的与地点相关的角度偏差时,求取总测量区域(30)的角度偏差的所述至少一个值和所述部分测量区域(15)的角度偏差的所述至少一个值之间的差,并且在修正角度偏差时使用该差。
9.如权利要求1或2所述的方法,其中,在修正与地点相关的角度偏差时,保持不考虑所述总测量区域(30)的角度偏差的所述至少一个值,并且,在修正角度偏差时使用所述至少一个部分测量区域(15)中的角度偏差的所述至少一个值。
10.如权利要求1或2所述的方法,其中,步骤a-1)i)中的所述部分测量区域(15)之一或步骤a-1)ii)中的所述部分测量区域是旋转台(25)上方的测量区域。
11.如权利要求10所述的方法,其中,所述旋转台(25)装载有工件质量,实施对与地点相关的角度偏差的修正以及对与装载质量相关的角度偏差的修正。
12.如权利要求1或2所述的方法,其中,被求取角度偏差的所述至少一个值的所述部分测量区域(15)具有与待测量的工件(17,18)相同或类似的尺寸。
13.如权利要求1或2所述的方法,其中,以测试对象(19,20,21,22;40)实施求取角度偏差的所述至少一个值,该测试对象适配于待测量的工件(17,18)的大小。
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