[发明专利]使用吸辊的辊装置以及具有凹凸结构的构件的制造方法

权利要求书

1.一种辊装置，其具备：

可旋转且吸力在外周面从外向内作用的吸辊；

产生所述吸力的抽吸机构；和

覆盖所述吸辊的外周面的透气性构件。

2.如权利要求1所述的辊装置，其中，所述透气性构件由硅橡胶形成。

3.如权利要求1或2所述的辊装置，其中，在所述透气性构件的表面形成有凹凸图案。

4.如权利要求3所述的辊装置，其中，所述透气性构件的凹凸图案为用于将溶胶凝胶材料图案化的图案。

5.如权利要求3或4所述的辊装置，其中，所述透气性构件的凹凸图案为不规则的凹凸图案，凹凸的深度的标准偏差为10～100nm的范围，凹凸的平均间距为100～1500nm的范围。

6.如权利要求3～5中任一项所述的辊装置，其中，所述透气性构件的凹凸图案的傅立叶变换图像为圆环状。

7.如权利要求1～6中任一项所述的辊装置，其具备用于加热所述吸辊的加热单元。

8.如权利要求1～7中任一项所述的辊装置，其中，所述透气性构件的水蒸气透过率为1×10^-6[(mL·cm)/(cm²·s·cmHg)]以上。

9.如权利要求1～8中任一项所述的辊装置，其中，所述透气性构件的厚度为10μm～1cm。

10.如权利要求1～9中任一项所述的辊装置，其中，所述透气性构件的表面能为25mN/m以下。

11.如权利要求1～10中任一项所述的辊装置，其具备使所述吸辊以所述吸辊的轴为中心旋转的驱动装置。

12.如权利要求1～11中任一项所述的辊装置，其中，所述吸辊的所述外周面的材质为多孔体。

13.如权利要求12所述的辊装置，其中，所述多孔体为陶瓷。

14.如权利要求1～11中任一项所述的辊装置，其中，所述吸辊的所述外周面为以等间隔均匀地设置有抽吸孔的网状。

15.一种具有凹凸结构的构件的制造方法，其为使用权利要求3～14中任一项所述的辊装置制造具有凹凸结构的构件的方法，该方法包括：

在基板上形成涂膜的工序；

在使所述吸辊旋转的同时，使所述透气性构件的所述凹凸图案与所述涂膜密合，从而将所述凹凸图案转印至所述涂膜的工序；和

将所述涂膜固化的工序。

16.如权利要求15所述的具有凹凸结构的构件的制造方法，其中，在使所述吸力作用于所述吸辊的同时，将所述凹凸图案转印至所述涂膜。

17.如权利要求15或16所述的具有凹凸结构的构件的制造方法，其中，所述涂膜的材料为溶胶凝胶材料。

18.如权利要求15～17中任一项所述的具有凹凸结构的构件的制造方法，其中，在将所述涂膜加热的同时，使所述透气性构件的所述凹凸图案与所述涂膜密合。

19.如权利要求15～18中任一项所述的具有凹凸结构的构件的制造方法，其中，具有所述凹凸结构的构件为光学基板。

20.一种有机电致发光元件的制造方法，其中，使用权利要求15～19中任一项所述的具有凹凸结构的构件的制造方法，制作作为具有凹凸结构的构件的具有凹凸表面的衍射光栅基板，并在所述衍射光栅基板的凹凸表面上依次层叠透明电极、有机层和金属电极，从而制造有机电致发光元件。