[发明专利]探针单元、基板检查装置及探针单元组装方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针单元、包括该探针单元的基板检查装置及组装该探针单元而构成的探针单元组装方法，上述探针单元包括多个探针、支承各探针的支承部、以及具有与探针连接的电极的电极板。

背景技术

作为该种探针单元，公知在日本特开2008–309761号公报中公开的检查夹具。该检查夹具是装载在对检查对象、即被检查基板进行检查的检查装置中而进行使用的检查夹具，构成为包括多个探针、保持探针的保持构件、用于与探针之间进行检查信号授受的电极部以及保持电极部的电极保持构件。探针具有芯材和绝缘包覆部，上述芯材具有导电性及挠性，上述绝缘包覆部设置于芯材的外周面的一部分。另外，保持构件由前端侧保持构件、后端侧保持构件及连接前端侧保持构件和后端侧保持构件的连接构件构成。在这种情况下，在前端侧保持构件设置有比芯材的外径大且比绝缘包覆部的外径小的第一通孔，探针上的绝缘包覆部的前端侧的端面与该第一通孔的缘部抵接，探针上的芯材的前端部(未设置绝缘包覆部的部分)插通在该第一通孔中。另外，在后端侧保持构件设置有能供探针拔插的大小的第二通孔，探针的芯材的后端侧(芯材的后端侧的未设置绝缘包覆部的部分)插通在该第二通孔中。电极保持构件具有配置在与后端侧保持构件的第二通孔对应位置的电极部，插通在第二通孔中的探针的芯材的后端部与该电极部抵接。另外，在该检查夹具中，探针以挠曲(屈曲)的状态由保持构件保持。

在朝向被检查基板按压该检查夹具时，探针的前端部按压被检查基板的检查点，由此探针的前端部与检查点可靠地接触。另外，此时，按压力的反作用力施加于探针的前端部，该反作用力将前端部压入后端侧而使探针的挠曲量增加。另外，当解除了对检查夹具的按压时，探针利用弹性力恢复成原来的状态。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008–309761号公报(第3页–第6页，图1–图2)

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，在以往的检查夹具中存在以下的问题。即，在该检查夹具中，通过朝向被检查基板按压检查夹具，来利用探针的前端部按压被检查基板的检查点而使前端部与检查点接触。在这种情况下，探针的前端部按压检查点的最大的按压力相当于探针的屈曲载荷(探针屈曲时的载荷)。因此，为了利用适当的按压力将探针的前端部按压于检查点，需要调整探针的屈曲载荷。在此，当探针的材质和长度相等时，截面积(即，直径)越大，则探针的屈曲载荷越大，另外，当材质和截面积相等时，有效屈曲长度(保持有探针的两处部位间的距离)越短，则探针的屈曲载荷越大。在这种情况下，在以往的检查夹具中，由于从前端侧保持构件的上表面到后端侧保持构件的下表面的距离相当于有效屈曲长度，因此例如在将探针更换成直径不同的其它探针时，对连接前端侧保持构件和后端侧保持构件的连接构件进行更换而改变相当于有效屈曲长度的该距离，并且也需要与该距离的改变对应地改变探针的长度。但是，从抑制制造成本的观点出发，理想的是不管直径多大，探针的长度均相同，当依据直径使长度不同时，产生使探针的制造成本上升的问题。

本发明是鉴于该问题而做成的，主要目的在于提供一种能将制造成本抑制为较低，且能容易地改变探针的有效屈曲长度的探针单元、基板检查装置及探针单元组装方法。

解决技术问题所采用的技术方案