[发明专利]温度感应式压电分配器

说明书

技术领域

本发明涉及一种温度感应式压电分配器，更详细而言涉及一种具有将压电元件用作致动器(actuator)而分配溶液的压电泵(piezoelectric pump)的分配器。

背景技术

按照固定的量供给水、油、树脂(resin)等液体状态的溶液的分配器使用于半导体制程、医疗领域等各种领域。

特别是，半导体制程是于底部填充(underfill)制程中较多地使用分配器，且分配器亦较多地使用于以树脂填充半导体元件的封装体(package)内部的用途。于制造发光二极体(Light Emitting Diode，LED)元件的制程中，分配器使用于在LED元件中，将荧光物质与树脂混合而成的荧光液涂布至LED晶片(chip)的制程。

此种分配器是将接收溶液而向准确的位置分配定量的泵(pump)用作核心装置。

于泵的构造中，存在螺旋泵(screw pump)、线性泵(linear pump)等各种类型。最近，为了高速地执行分配动作，开发使用于半导体制程等中，将压电元件用作致动器的压电泵。

于韩国公开专利公报第2005-0079557号(2005.08.10)中，揭示有如下的压电泵的构造：附着压电元件的多个压电致动器形成彼此不同的位移差，依次连动而泵送(pumping)流体。

使用于压电泵的压电致动器主要由陶瓷(ceramic)材质制作。包含此种陶瓷材质的压电致动器在内的大部分的压电致动器一方面通过所施加的电压而作动，一方面产生热。若因产生于压电致动器的热而压电致动器的温度上升，则存在压电致动器的动态特性发生变化，压电致动器的使用寿命亦缩短的问题点。

因此，需要具有可防止压电致动器的温度上升的构成的压电泵或压电分配器。

发明内容

[发明所欲解决的问题]

本发明是为了解决如上所述的必要性而提出，目的在于提供一种具有感应产生于压电致动器的温度，利用所感应的温度而冷却压电致动器的功能的温度感应式压电分配器。

[解决问题的技术手段]

为了解决如上所述的问题点，本发明的温度感应式压电分配器的特征在于包含：泵体，其形成有可使冷却流体流动的冷却线；杠杆(lever)，其以可相对于设置于上述泵体的铰链(hinge)轴而旋转的方式设置；压电致动器，其以其末端可与上述杠杆接触的方式设置于上述泵体，以便若施加电压，则长度变长，并且对上述杠杆加压而使上述杠杆以上述铰链轴为中心旋转；阀杆(valve rod)，其连接于上述杠杆，以便随着上述杠杆的旋转而进行升降运动；阀体，其具有储存部、流入口、及喷嘴(nozzle)，该储存部是供上述阀杆的末端插入，且储存溶液，该流入口是向上述储存部流入上述溶液，该喷嘴是随着上述阀杆相对于上述储存部的进退而排出上述储存部的溶液；温度感测器(temperature sensor)，其设置于上述压电致动器与泵体中的任一者而测定温度；冷却泵，其向上述泵体的冷却线供给冷却流体；及控制部，其使上述压电致动器作动，接收上述温度感测器感应的温度而使上述冷却泵作动。

[发明效果]

本发明的温度感应式压电分配器具有如下效果：测定压电致动器的温度，利用所测定的温度值而冷却压电致动器，藉此可准确控制通过压电致动器的作动而排出的溶液。

附图说明

图1是本发明的一实施例的温度感应式压电分配器的压电泵的前视图。

图2是图1所示的压电泵的立体图。

图3是图1所示的压电泵的侧视图。

图4是图2所示的压电泵的IV-IV线剖面图。

图5是图2所示的压电泵的V-V线剖面图。

图6是关于图1所示的温度感应式压电分配器的主要构成的方块图。

图7至图9是用以说明图1所示的温度感应式压电分配器的压电泵的作动的概略图。

图10是用以说明本发明的其他实施例的温度感应式压电分配器的压电泵的作动的概略图。

具体实施方式

以下，参照附图，详细地对本发明的温度感应式压电分配器进行说明。

图1是本发明的一实施例的温度感应式压电分配器的压电泵的前视图，图2是图1所示的压电泵的立体图，图3是图1所示的压电泵的侧视图。

参照图1至图3，本实施例的温度感应式压电分配器包含压电泵(100)、控制部(200)、及冷却泵(70)。压电泵(100)具有泵体(10)及阀体(20)。