[实用新型]治具压板有效

专利信息
申请号: 201420787149.4 申请日: 2014-12-11
公开(公告)号: CN204315531U 公开(公告)日: 2015-05-06
发明(设计)人: 何晓光 申请(专利权)人: 南通富士通微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 孟阿妮;郭栋梁
地址: 226006 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 压板
【权利要求书】:

1.一种治具压板,包括顺次连接的预加热按压部、键合打线按压部和后加热按压部,所述键合打线按压部设置有键合打线通孔,其特征在于,所述预加热按压部设置有预加热部散热通孔,所述后加热按压部设置有后加热部散热通孔。

2.根据权利要求1所述的治具压板,其特征在于,所述预加热部散热通孔及所述后加热部散热通孔的水平截面形状为长方形。

3.根据权利要求2所述的治具压板,其特征在于,所述长方形的长度为1~4厘米,宽度为0.1~0.4厘米。

4.根据权利要求2或3所述的治具压板,其特征在于,所述预加热按压部设置有多个所述预加热部散热通孔,多个所述预加热部散热通孔并排设置,所述后加热按压部设置有多个所述后加热部散热通孔,多个所述后加热部散热通孔并排设置。

5.根据权利要求1所述的治具压板,其特征在于,所述预加热部散热通孔及所述后加热部散热通孔沿所述键合打线通孔对称布置。

6.根据权利要求1或2或3或5所述的治具压板,其特征在于,所述预加热按压部、所述键合打线按压部和所述后加热按压部的底面位于同一水平面。

7.根据权利要求6所述的治具压板,其特征在于,所述预加热按压部、所述键合打线按压部和所述后加热按压部为一体结构。

8.根据权利要求2或3所述的治具压板,其特征在于,所述键合打线通孔为矩形孔,所述预加热部散热通孔及所述后加热部散热通孔的长度延伸方向均垂直于所述键合打线通孔的长度延伸方向。

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