[实用新型]电容结构及电容式MEMS器件

说明书

技术领域

本实用新型涉及MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)技术领域，更具体的说，涉及一种电容结构及电容式MEMS器件。

背景技术

MEMS是一种以半导体技术为基础发展起来先进的微机电系统。MEMS器件以其体积小、成本低、重量轻、集成性好等诸多优点，已经被越来越广泛的应用在如消费电子、医疗、汽车等领域中。电容式MEMS器件是MEMS器件中重要分支之一，许多主流产品，例如麦克风、压力传感器、陀螺仪、加速度计、谐振器等均基于电容式MEMS器件制作而成。但是，现有的电容式MEMS器件的驱动和检测能力仍有提升的空间。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种电容结构及电容式MEMS器件，提高了电容式MEMS器件的驱动和检测能力，提高了微机械器件的性能。

为实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：

一种电容结构，应用于电容式MEMS器件，包括：

多个第一极板和多个第二极板，所述第一极板和所述第二极板之间沿第一方向交替设置；

其中，在所述第一方向的切面上，所述第一极板和所述第二极板之间有交叠区域，且所述第一极板的高度和所述第二极板的高度均大于所述交叠区域的高度。

优选的，在所述第一方向的切面上，多个所述第一极板朝向相同的端部相齐平，且多个所述第二极板朝向相同的端部相齐平。

优选的，在所述第一方向的切面上，所述第一极板和所述第二极板的高度相同或不同。

优选的，所述第一极板和第二极板均为半导体极板或金属极板。

优选的，所述第一极板和第二极板为硅极板或锗极板。

一种电容式MEMS器件，包括电容电极，所述电容电极包括相对应设置的固定梳齿和可动梳齿，所述固定梳齿包括多个第一极板，所述可动梳齿包括多个第二极板，所述第一极板和第二极板之间沿第一方向交替设置；

其中，在所述第一方向的切面上，所述第一极板和所述第二极板之间有交叠区域，且所述第一极板的高度和第二极板的高度均大于所述交叠区域的高度。

优选的，在所述第一方向的切面上，多个所述第一极板朝向相同的端部相齐平，且多个所述第二极板朝向相同的端部相齐平。

优选的，在所述第一方向的切面上，所述第一极板和所述第二极板的高度相同或不同。

优选的，所述第一极板和第二极板均为半导体极板或金属极板。

优选的，所述第一极板和第二极板为硅极板或锗极板。

相较于现有技术，本实用新型提供的技术方案至少具有以下优点：

本实用新型提供的一种电容结构及电容式MEMS器件，包括：多个第一极板和多个第二极板，所述第一极板和所述第二极板之间沿第一方向交替设置；其中，在所述第一方向的切面上，所述第一极板和所述第二极板之间有交叠区域，且所述第一极板的高度和所述第二极板的高度均大于所述交叠区域的高度。

由上述内容可知，本实用新型提供的技术方案，通过将第一极板和第二极板的朝向相同的两端均设置高低差，即在第一方向的切面上，第一极板的两端均高于第二极板具有相同朝向的两端。当采用上述电容结构应用于电容电极中，且对电容电极通电而使得第一极板和第二极板沿极板高度的延伸方向相对运动时，电容电极的电容大小变化率大，进而提高了电容电极的驱动和检测能力，即提高了电容式MEMS器件的驱动和检测能力，提高了微机械器件的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1a为现有的一种电容结构的结构示意图；

图1b为图1a中沿第一方向AA’的切面图；

图2a为现有的一种电容结构的结构示意图；

图2b为图2a中沿第一方向AA’的切面图；

图3a为本申请实施例提供的一种电容式MEMS器件的结构示意图；

图3b为图3a中沿第一方向AA’的切面图。

具体实施方式