[实用新型]CIT带静电除尘的超净工作台

权利要求书

1.一种CIT带静电除尘的超净工作台，其特征在于，包括超净工作台本体(1)，超净工作台本体(1)上柜内设有风机(2)、静电除尘装置(3)，超净工作台本体(1)的上柜内设有通向工作室(11)中的风管(4)，风机(2)安装在风管(4)的进风口处，静电除尘装置(3)设置风机(2)和风管(4)之间；静电除尘装置(3)包括电源正极(31)、集电极(32)、放电极(33)、绝缘瓶(34)和电源负极(35)，电源正极(31)同集电极(32)连接，绝缘瓶(34)同电源负极(35)连接，放电极(33)设置在集电极(32)和绝缘瓶(34)之间，电源正极(31)、电源负极(35)同电源连接，集电极(32)和绝缘瓶(34)之间形成高压静电场，含尘粒气体由风机(2)进入风管(4)时经过高压静电场时被电分离，尘粒与负离子结合带上负电后，趋向放电极(33)表面放电而沉积。

2.根据权利要求1所述的CIT带静电除尘的超净工作台，其特征在于，风管(4)的出口正对工作室(11)的工作台面的操作区。

3.根据权利要求1所述的CIT带静电除尘的超净工作台，其特征在于，在风机(2)的进风口安装有设置在超净工作台本体(1)上柜内的初效过滤器(5)。