[实用新型]一种移动式水平层流百级洁净柜

说明书

技术领域

本实用新型涉及洁净车间的移动式洁净柜，特别涉及一种移动式水平层流百级洁净柜。

背景技术

在洁净车间中经常会用到移动式洁净柜，用来周转诸如集成电路芯片、精密机械零件、光学镜头、微生物菌种、药物等必须受百级洁净度保护的物品。移动式洁净柜为了集中一定数量的物品周转，采用多层式结构。然而，一般洁净柜均采用垂直层流，正是由于多层式结构的存在，垂直层流自上而下送风中，会因多层物料架的设置而造成气流速度和风压急剧衰减，以致洁净柜下半部分的洁净度很难得到保证。

实用新型内容

本实用新型提供一种移动式水平层流百级洁净柜，用以解决现有技术中存在洁净柜的洁净度底的问题。

本实用新型提供的一种移动式水平层流百级洁净柜，包括柜体和设置在柜体内的洁净室、过滤器、风机，所述洁净室内水平设置有多个隔板，所述洁净室的一侧为送风侧，所述送风侧设置有多冲孔均流板，所述洁净室中与送风侧相对的一侧为回风侧，气流由送风侧的多冲孔均流板进入洁净室后，并由回风侧流出，形成水平层流，所述过滤器用于对进入洁净室的空气进行过滤，所述风机用于将柜体内的空气送入洁净室。

进一步地，所述隔板上均匀设置有多个通孔。

进一步地，该洁净柜还设有用于检测过滤器两侧气压差的差压计。

进一步地，该洁净柜还设有DOP检测装置。

进一步地，所述过滤器为HEPA/ULPA过滤器。

进一步地，所述风机位于洁净室的下方，所述过滤器设置在多冲孔均流板的外侧。

进一步地，所述洁净室安装有双侧联锁密封门。

进一步地，所述柜体底部设有多个带刹车的万向轮。

进一步地，所述柜体设有过滤器的一侧设有检修门。

进一步地，所述柜体底部还设有风量控制和显示。

本实用新型有益效果如下：在柜体内能形成水平流送风的方式，使柜体物料架的各层物品都能受到保护，保证高的洁净度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的移动式水平层流百级洁净柜结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的移动式水平层流百级洁净柜立体图。

图中，1是洁净室，101是隔板，102是多冲孔均流板，103是双侧密封玻璃门，2是过滤器，3是风机，4是差压计，501是发尘口，502是DOP检测口，6是万向轮，701是电源指示灯，702是电源开关，8是检修门，9是风量控制和显示。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型实施例作进一步详细描述。

如图1-2的移动式水平层流百级洁净柜，包括柜体和设置在柜体内的洁净室1、过滤器2、风机3，洁净室1内水平设置有多个隔板101，隔板101在洁净室1内均匀分布，隔板101上均匀设置有多个通孔，方便气体均匀流通，洁净室1和柜体两侧之间预留一定的空间，用于柜体内气体的流通，洁净室1的一侧是送风侧，送风侧设置多冲孔均流板102，洁净室1中与送风侧相对的一侧是回风侧，气流由送风侧的多冲孔均流板102水平送风，使得每一层隔板101的气流都可以得到均匀的风速，而且气流不受柜内多层式隔板101结构的影响，并由回风侧流出，过滤器2是HEPA/ULPA过滤器，安装在多冲孔均流板102的外侧，对进入洁净室1的空气进行过滤，风机3安装在洁净室1的下方，向过滤器2送风，经过滤器2后的无尘无菌空气，经多冲孔均流板102均匀分配到每一层隔板101，由洁净室1的回风侧流出，回风气流经全封闭通道由风机3吸回后，重新经过过滤器2过滤，循环送入洁净室1，以获得最高的洁净度。

该洁净柜设有过滤器2的一侧还设置有差压计4，测量过滤器2两侧气压差，如果气压显示超过标准，则更换过滤器2。

洁净柜上还设置了DOP检测装置，包括DOP发尘口501和DOP检测口502，DOP发尘口501对过滤器2进行发尘，通过DOP检测口502对过滤器2上下游的含尘浓度进行对比，来检测过滤器2的过滤效率、出风洁净度是否达到要求。

洁净柜上还设置了电源指示灯701和电源开关702，电源指示灯701方便显示洁净柜的状态，柜体的下部还设置风量控制和显示9，便于实时控制与观察。

洁净室1上安装双侧密封玻璃门103，带有断电锁定功能，通电后才能开启密封门，双侧门采用电子联锁，每次只允许开启一侧玻璃门，可以有效地防止外界空气向洁净室1内部进行干扰，在必要时可以兼作洁净传递窗，方便洁净室内物品的传递。

洁净柜底部设置了多个带刹车的万向轮6，用来洁净柜的移动。洁净柜安装过滤器2的一侧安装有检修门，方便故障检修。