[实用新型]平行光单面曝光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光技术领域，尤其涉及一种平行光单面曝光装置。

背景技术

目前的单面曝光装置是属于精密光刻成像装置中，都是采用紫外光照射，使可接受某特定波长的感光材料在受到光照射的区域形成与菲林上图案完全一致的装置。现有的曝光装置不论是普通漫反射光源型式的还是菲涅尔透镜平行光光源型式的，其曝光灯与被曝光物之间的距离都是固定的，灯源工作时是对曝光装置的整个曝光台面同时作用的，所以被曝光物面积大小不一样时也需要用相同的曝光时间来曝光，无法针对大小不一样的被曝光物来选取曝光时间；曝光灯灯源中心的光能量总是比周边的光能量强，所以被曝光物的物体所接收到的光能量总是不均匀的；曝光灯工作时大部分电能转化成了热能，所以整个曝光室和曝光台面在曝光灯工作时温度会大幅升高，这时就需要一个强力的冷却装置对整个曝光室和曝光台面进行冷却，因为曝光室和曝光台面空间较大，难于做到对曝光台面每个区域进行均匀降温，造成曝光台上的原稿因受热过热或受热不均匀而出现胀缩，造成菲林片上的图像发生变形，这样被曝光物上形成的图像就会和原稿的不一样，不能保证曝光过程的良品率。

实用新型内容

针对上述技术中存在的不足之处，本实用新型提供一种能源损耗小、曝光能量分布均匀及曝光效率高的平行光单面曝光装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种平行光单面曝光装置，包括机台、置于机台上且用于放置被曝光物的玻璃曝光台面、置于玻璃曝光台面下方的直线传动机构、用于保证工作时被曝光物与玻璃曝光台面贴合的气路组件和粘接有橡皮布的橡皮框；所述直线传动机构上活动安设有沿该直线传动机构做直线匀速运动的灯箱，所述灯箱内置有曝光灯，且该灯箱上设有冷却组件；所述橡皮框的一端铰接在玻璃曝光台面的末端上，且该橡皮框与玻璃曝光台面接触贴合围合成容纳该被曝光物的腔体；所述气路组件包括置于机台内的真空泵及与真空泵电连接的电磁阀和置于橡皮框上的抽气嘴和气管接头，该电磁阀常态时，上述腔体依次经抽气嘴、气管接头、真空气管与电磁阀形成的气路与大气连通；该电磁阀通电时，真空泵经电磁阀、真空气管、气管接头、抽气嘴与上述腔体连通。

其中，所述直线传动机构包括设置在机台内的支承台、安设在支承台两侧上的直线轴承和安装在灯箱底部的滚珠丝杆运动幅，所述滚珠丝杆运动幅通过轴承座固定在支承台上，直线轴承之间设置有直线导轨，所述滚珠丝杆运动幅与驱动组件驱动连接，驱动组件通过滚珠丝杆运动幅驱动直线导轨后，所述灯箱沿着该直线导轨做直线匀速运动。

其中，所述驱动组件包括同步轮、同步带和电机，所述滚珠丝杆运动幅置于该同步轮内，且该同步轮通过同步带和与电机驱动连接。

其中，所述冷却组件包括分别设置在灯箱两侧上的冷风出口、多个导风板和风道；所述冷风机通过两个冷风管分别依次与对应的风道、多个导风板和两个冷风出口相通，且所述冷风机产生的冷风经由对应的冷风管、风道和多个导风板后从灯箱两侧的冷风出口吹向受热的玻璃曝光台面。

其中，所述冷却组件还包括与灯箱相通的灯管冷却风机，所述灯管冷却风机工作时对曝光灯表面降温，且热风从排风管排出机台外。

其中，所述橡皮框与玻璃曝光台面接触的一面上粘接有密封条，所述粘接橡皮布后的橡皮框通过密封条与玻璃曝光台面接触后，上述腔体四周密封不漏气。

其中，所述灯箱的两侧边设置有与其一体成型的导向板，所述多个导风板呈一字型横向设置在导向板上；且每个导风板上均设有与导向板所在面呈斜向设置的斜面，在斜向上的导风板作用下，沿着导向板长方向横向吹来的风改变风向向上部的冷风出口吹出。

其中，该曝光装置还包括反光罩，所述反光罩置于灯箱内且形状为抛物线，所述曝光灯置于反光罩的焦点位置上且出光面朝向玻璃曝光台面。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型提供的平行光单面曝光装置，通过直线传动机构匀速移动对玻璃曝光台面上被曝光物进行曝光，该曝光方式可以依被曝光物大小的不一样而自行调整移动距离也就是曝光时间可依曝光物体大小的不一样而自行调整，同时能保证被曝光物接收到的曝光能量是均匀的；增设气路组件和橡皮框，橡皮框与玻璃曝光台面的接触能确保四周不漏气，且气路组件可确保菲林与被曝光物贴合，解决现有的曝光装置对大小不一样的被曝光物的曝光时间相同而消耗同样多的电能，避免了能耗的损失。本实用新型具有能源损耗小、曝光能量分布均匀及曝光效率高等特点。

附图说明

图1为本实用新型的平行光单面曝光装置的主视图；

图2为图1的侧视图；

图3为本实用新型中灯箱及冷却组件的立体图。