[实用新型]螺杆真空泵的螺杆

说明书

技术领域

本实用新型属于真空泵技术领域，涉及一种螺杆真空泵，特别是一种螺杆真空泵的螺杆。

背景技术

螺杆真空泵具有维护周期长且方便、环保、高度可靠、高效率和容易操控等优点，因而在很多工艺参合，螺杆真空泵取代水环真空泵、滑阀真空泵、其它湿式真空泵成为必然趋势。

申请人曾提出了一种螺杆真空泵的螺杆，并记载在中国专利文献中(申请公布号：CN102937094A)，采用该螺杆的真空泵相对与之前的真空泵提供了能量需求、噪声、内部工作温度、结构空间以及制造费用的最佳选择，还具有应用领域较为广泛的优点。

在某些电子零部件的部分生产工艺环境中要求极限真空度在0.5Pa以下，而且要求长时间抽真空。为了使采用上述螺杆的真空泵仍然满足0.5Pa以下极限真空度和长时间抽真空生产要求，目前，本领域技术人员容易想到的技术方案是缩小螺杆与螺杆之间以及螺杆与泵体之间的间隙，该方案虽然能实现上述生产要求，但存在着以下缺陷：螺杆和泵体等部件的加工精度要求提高，真空泵的装配精度也需要提高，因而产生制造费用大幅度提高的问题；同时由于部件存在热胀冷缩，间隙缩小后便降低了真空泵运行的安全性。

发明内容

本实用新型提出了一种螺杆真空泵的螺杆，本实用新型要解决的技术问题是如何既能提高螺杆真空泵的极限真空度和保证真空泵运行安全性，又不会产生制造费用大幅提高的问题。

本实用新型的要解决的技术问题可通过下列技术方案来实现：

本螺杆真空泵的螺杆，包括呈圆柱状的杆体，杆体的外侧面上开有一条螺旋槽，螺旋槽的两端口分别位于杆体的两端面上；杆体的一端部为吸气部，另一端部为排气部，吸气部与排气部之间为压缩过渡部；吸气部上螺旋槽的螺距不变，排气部上螺旋槽的螺距不变，排气部上螺旋槽的螺距小于吸气部上螺旋槽的螺距；压缩过渡部上螺旋槽一端与吸气部上螺旋槽相接，另一端与吸气部上螺旋槽相接，压缩过渡部上螺旋槽从一端到另一端螺距非线性逐渐缩小；吸气部上螺旋槽的圈数为0.75～1.25圈；当压缩过渡部上螺旋槽的圈数为1圈时，排气部上螺旋槽的圈数大于3圈；当压缩过渡部上螺旋槽的圈数大于1圈时，排气部上螺旋槽的圈数为1.75～4圈。

采用本螺杆的真空泵通过增加排气部上螺旋槽的圈数和/或通过提高压缩过渡部上螺旋槽的圈数，实现降低极限真空度。本螺杆的压缩过渡部长度增长和/或螺杆的整体长度增长，即螺杆运行发热长度增长，能降低螺杆的温度和真空泵内部的工作温度，进而降低螺杆受热变形量。由此可知，采用本螺杆的真空泵既能降低螺杆加工精度和制造成本，又能保证真空泵的性能稳定性。

在上述的螺杆真空泵的螺杆中，所述螺旋槽的缠绕圈数为4～8圈。

在上述的螺杆真空泵的螺杆中，所述压缩过渡部上螺旋槽包缠曲线非线性变化规律符合下式：