[实用新型]一种石英坩埚成型模具有效

专利信息
申请号: 201420705792.8 申请日: 2014-11-24
公开(公告)号: CN204251495U 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 孙占喜;李涛;陈官元;姚刚;蔺崇召 申请(专利权)人: 许昌天戈硅业科技有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 452670 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 成型 模具
【权利要求书】:

1.一种石英坩埚成型模具,其特征在于:包括金属合金模模具、外模具、多孔合金底座、旋转台、旋转轴,所述的金属合金模具的外层套有外模具,所述的金属合金模具的底部装有多孔合金底座,所述的多孔合金底座置于旋转台上,所述的旋转台下面设置有旋转轴,其中,所述的金属合金模具与所述的外模具之间形成一个空腔,所述的旋转台上装有真空管道,所述的真空管道与所述的空腔相通并且穿过外模具和金属合金模具的中心孔,所述的真空管道在旋转轴内部汇集成一个真空管道与外部的抽气泵相连接。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚成型模具,其特征在于:所述的金属合金模具设有多个微气孔。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚成型模具,其特征在于:所述的外模具去掉了原来水冷套的冷水循环器。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚成型模具,其特征在于:所述的外模具内部填充的是石英棉。

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