[实用新型]一种水射流辅助激光化学刻蚀的装置

权利要求书

1.一种水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，包括激光系统、水射流系统、化学系统，所述激光系统的激光束(8)通过反射镜(9)反射进入激光头(6)，所述激光头(6)还需要通入辅助气体氧气(7)，所述辅助气体氧气(7)与激光束(8)经激光头(6)共同射到材料(4)上；所述水射流系统的水射流束(10)由电动机(18)驱动，所述电动机(18)通过V带(17)连接泵(14)，所述泵(14)通过水管(15)吸入水箱(16)中的清水并且与喷枪(13)连接，所述喷枪(13)的头部安装喷嘴(12)，所述喷嘴(12)的头部安装针头(11)，所述针头(11)喷出水射流束(10)冲刷材料(4)；所述化学系统的手摇轮(5)通过转动来调节升降工作台(3)的高度，所述升降工作台(3)把材料(4)送入到化学液体(2)中腐蚀。

2.根据权利要求1所述的水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，所述激光系统包括反射镜(9)、激光束(8)、辅助气体氧气(7)、激光头(6)，激光的电流强度为120～200A，脉冲宽度为0.4～1.8ms，脉冲重复频率为20～50HZ，离焦量为1～3mm，激光扫描速度为0.6～1.5mm/s，所述激光系统产生的激光束最终从激光头发出。

3.根据权利要求1所述的水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，所述水射流系统的水射流束(10)与激光束(8)的角度为5～80°，水射流束的直径为6～9mm，水射流束的流速通过泵(14)的压力调节。

4.根据权利要求1所述的水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，所述化学系统包括化学液体(2)、升降工作台(3)、手摇轮(5)，材料(4)的熔渣最后大部分都被化学液体腐蚀。

5.根据权利要求1所述的水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，所述激光束和水射流束同时加工材料结束以后，转动升降工作台，已加工的材料会完全浸入化学液体中。

6.根据权利要求1所述的水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，顺时针转动手摇轮，升降工作台向下移动，逆时针转动手摇轮，升降工作台向上移动。

7.根据权利要求1所述的水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，所述化学溶液的浓度为40～80％。