[实用新型]一种图形化衬底有效
| 申请号： | 201420670676.7 | 申请日： | 2014-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN204167347U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 丁海生;马新刚;李东昇;李芳芳;江忠永 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 图形 衬底 | ||
1.一种图形化衬底，其特征在于，包括衬底以及形成于所述衬底上的若干周期性阵列排布的第一图形结构，所述第一图形结构为环状结构，且所述第一图形结构的内部空间呈倒台状。
2.如权利要求1所述的图形化衬底，其特征在于，所述第一图形结构为矩形环状结构，所述第一图形结构的内部空间呈倒矩形台状。
3.如权利要求1或2所述的图形化衬底，其特征在于，所述第一图形结构沿其每条边的宽度方向且垂直于衬底表面的截面为梯形。
4.如权利要求3所述的图形化衬底，其特征在于，所述图形化衬底还包括形成于所述第一图形结构上的第三图形结构。
5.如权利要求4所述的图形化衬底，其特征在于，所述第三图形结构为环状结构，且所述第三图形结构沿其每条边的宽度方向且垂直于衬底表面的截面为三角形。
6.如权利要求1或2所述的图形化衬底，其特征在于，所述第一图形结构沿其每条边的宽度方向且垂直于衬底表面的截面为三角形。
7.如权利要求1或2所述的图形化衬底，其特征在于，所述图形化衬底还包括形成于第一图形结构内部空间的衬底上的若干周期性阵列排布的第二图形结构。
8.如权利要求7所述的图形化衬底，其特征在于，所述第二图形结构为台状结构或锥状结构。
9.如权利要求1所述的图形化衬底，其特征在于，所述第一图形结构与所述衬底的材质相同。
10.如权利要求9所述的图形化衬底，其特征在于，所述第一图形结构与所述衬底的材质均为碳化硅、蓝宝石或硅。
11.如权利要求1所述的图形化衬底，其特征在于，所述第一图形结构与所述衬底的材质不相同。
12.如权利要求11所述的图形化衬底，其特征在于，所述衬底的材质为碳化硅、蓝宝石或硅，所述第一图形结构的材质为二氧化硅。
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