[实用新型]一种设置有智能安全控制系统的酸刻房

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，具体地说涉及一种设置有智能安全控制系统的酸刻房。

背景技术

由于酸刻房中使用的强酸（氯化氢），腐蚀性比较强，为保证酸刻房周边区域的员工及设备的安全，所以酸刻房的维护和保养非常重要。而对于酸刻房的维护和保养，酸刻房酸气泄漏的监测变得尤为重要。现有技术中酸刻房的酸气浓度指标基本都是靠人员穿戴防护用具，到酸刻房中进行定时监测。缺乏及时有效的安全预警机制，对酸刻房周边区域工作的员工存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供一种设置有智能安全控制系统的酸刻房，可以对酸刻房内各个方位的氯化氢气体指标进行监控和预警，及时在酸雾泄漏时给工作人员的进行安全提醒。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种设置有智能安全控制系统的酸刻房，包括房体和蚀刻设备，所述房体的顶部设置有排风口，所述房体的前墙设置有第一房门，所述房体的左侧墙设置有第二房门，所述的蚀刻设备从房体的右侧墙外侧引入到房体内，经房体的中央，并从房体的左侧墙内侧向外延伸到房体的外部，所述排风口设置有第一风机和第二风机；所述房体的后墙内侧中央在高于蚀刻设备处设置有第一传感器，所述房体的左侧墙内侧中央在高于蚀刻设备处设置有第二传感器，所述房体的前墙内侧中央在高于蚀刻设备处设置有第三传感器，所述房体的后墙内侧中央在高于蚀刻设备处设置有第四传感器，所述房体的中央在高于蚀刻设备处设置有第五传感器，所述房体在第一房门的一侧的外侧设置有第一预警灯、第二预警灯、第三预警灯、声音报警器和安全控制器，所述第一传感器、第二传感器、第三传感器、第四传感器、第五传感器通过安全控制器与第一预警灯、第二预警灯、第三预警灯、声音报警器、第一风机、第二风机和安全控制器电连接。

作为对上述技术方案的改进，所述安全控制器为可编程工业电子时间继电器。

本实用新型的设置有智能安全控制系统的酸刻房，安全控制器对传感器传输的参数由高到低设定了一级警示标准和二级警示标准两个级别的警示标准，来判定酸刻房的氯化氢气体安全级别；低于二级警示标准时为氯化氢气体浓度处于正常标准状态，室内空气的正常排放；高于二级警示标准、低于一级警示标准时为氯化氢气体浓度超出正常标准，这时需将强对室内空气的排放；高于一级警示标准时为氯化氢气体浓度超出安全标准范围，需要人为维护来避免酸刻房有氯化氢气体外漏的危险。

当第一传感器、第二传感器、第三传感器、第四传感器、第五传感器中的每一个传感器传输的参数都在二级警示标准以下时，室内空气的正常排放，这时酸刻房是默认开启第一风机和第一预警灯。

当第一传感器、第二传感器、第三传感器、第四传感器、第五传感器中的任一个传感器传输的参数大于等于二级警示标准、低于一级警示标准时，安全控制器将打开第二风机和第二预警灯的电源控制。

当第一传感器、第二传感器、第三传感器、第四传感器、第五传感器中的任一个传感器传输的参数在大于等于一级警示标准时，安全控制器将打开第三预警灯和声音报警器的电源控制。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1）省去了人员在酸刻房中的监测工作，减少了人员在酸雾中的危害，避免开关门时酸雾泄漏到工作区域的隐患。

2）增加了第二风机开关，可有效控制酸刻房内氯化氢气体的浓度，较少了人员对酸刻房的管理。

3）增加了预警机制，让人员对酸刻房内的酸雾的情况一目了然，便于人员对酸刻房情况的了解，保证了酸雾泄漏时人员的安全提醒。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图。

图2为本实用新型的剖视结构示意图。

图3为本实用新型的电路连接框图。

具体实施方式

下面结合附图及具体的实施例对本实用新型作进一步地说明。