[实用新型]氮氧化物传感器

权利要求书

1.一种氮氧化物传感器，其特征在于：由多层长方形基片构成，加热体（60）设置在其中一层基片上；其余各层中，具有三层相邻的基片形成沿基片长度方向依次设置的气体入口（21）、第一腔室（22）和第二腔室（23），第一腔室（22）内设置有氧泵（80），第二腔室（23）内设置有氧测量泵（90），第一腔室（22）和第二腔室（23）之间设置有扩散障碍部（24）。

2.如权利要求1 所述的氮氧化物传感器，其特征在于：从上至下的第一层基片（10）至第三层基片（30）形成所述的气体入口（21）、第一腔室（22）和第二腔室（23），所述氧泵（80）的电极由设置在第一层基片（10）上、下表面的第一电极（81）和第二电极（82）组成，所述氧测量泵（90）的电极由设置在第三层基片（30）上、下表面的第三电极（91）和第四电极（92）组成，第三层基片（30）上设有与大气相连的参比气体通道（31）。

3.如权利要求2所述的氮氧化物传感器，其特征在于：所述第一电极（81）和第二电极（82）上下对应设置，且第一电极（81）和第二电极（82）的长度布满或大致布满第一腔室（22）的长度方向。

4.如权利要求2 所述的氮氧化物传感器，其特征在于：所述第三电极（91）和第四电极（92）上下对应设置，且第三电极（91）设置在第二腔室（23）中远离第一腔室（22）的一端。

5.如权利要求1 所述的氮氧化物传感器，其特征在于：第四电极（92）下表面覆盖有多孔氧化铝层（93），多孔氧化铝层（93）的一端延伸到参比气体通道（31）。

6.如权利要求1 所述的氮氧化物传感器，其特征在于：加热体（60）设置在第四层基片（40）与第五层基片（50）之间，加热体（60）的上下各有一层绝缘层（70）。

7.如权利要求1 所述的氮氧化物传感器，其特征在于：所述加热体（60）仅具有两个引出端。