[实用新型]大面积无掩膜板快速曝光的装置有效
| 申请号： | 201420546310.9 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204065661U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;益凯劼;赵黎龙 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积 无掩膜板 快速 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.大面积无掩膜板快速曝光的装置，其特征在于：包含沿光路依次设置的光源(1)、准直镜(3)、全反射镜(4)和空间光调制器DMD(5)，空间光调制器DMD(5)的光路输出端布置有全反镜(6)，全反镜(6)的光路输出端衔接有双远心高速扫描系统(8)，双远心高速扫描系统(8)的光路输出端正对于载物平台(11)；所述空间光调制器DMD(5)、双远心高速扫描系统(8)、载物平台(11)与运动控制系统(9)控制连接。
2.根据权利要求1所述的大面积无掩膜板快速曝光的装置，其特征在于：所述光源(1)与准直镜(3)之间光路设置有光闸(2)。
3.根据权利要求1所述的大面积无掩膜板快速曝光的装置，其特征在于：所述光源(1)是光波长为266nm～450nm的单色LD光源。
4.根据权利要求1所述的大面积无掩膜板快速曝光的装置，其特征在于：所述载物平台(11)上设有基板，基板的材质为丙烯酸树脂MMA树脂材料或玻璃。
5.根据权利要求1所述的大面积无掩膜板快速曝光的装置，其特征在于：所述空间光调制器DMD(5)的光路输出端布置有吸收器(7)。
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