[实用新型]一种镀膜机组的集中冷却系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机专用的冷却系统，尤指一种能让多台镀膜机仅需使用一个冷却源即可达到所需冷却效果的一种镀膜机组的集中冷却系统。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，冷却系统是镀膜工艺中一个重要的环节，真空镀膜在蒸镀时会温度会上升，需求一个恒温的环境才能保证产品不因受热而变形，在真空泵系统也需要冷却水把机组热量带走，而目前国内现有技术中镀膜设备的冷却系统通常是由两级的冷却系统组成，即一级冷却和二级冷却，如图1所示，即从镀膜机6流出的热水直接（或连同补水池的水）泵进冷却水塔3进行一级冷却，然后在每台镀膜机6上加装冰水机或冰水塔7，经过一级冷却后的水流经镀膜机6上的冰水机或冰水塔7进行二级冷却后再流经镀膜机进行冷却，然后流出的热水再泵进冷却水塔3形成一个带有二级冷却效果的闭合循环回路冷却系统，这种二级冷却系统虽然冷却效果比较优秀，但是维护成本高、场地面积偏大，使得整套镀膜设备成本增高和水电成本增高。

发明内容

为了弥补现有技术中的不足，本实用新型旨在提供用于一种镀膜机专用的冷却系统，尤指一种能让多台镀膜机仅需使用一个冷却源即可达到所需冷却效果，且能降低维护成本，减少场地使用面积，降低水电成本低且安装维护方便的一种镀膜机组的集中冷却系统。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种镀膜机组的集中冷却系统，所述的集中冷却系统包括镀膜机组、储水池、冷却水塔和回水池，所述的回水池、冷却水塔、储水池和镀膜机组通过水管顺序相连形成回路，另外回水池与补水池相连通；补水池的水进入回水池后流经冷却水塔后再流进储水池，流进储水池的水再流经镀膜机组后流进回水池再进入冷却水塔形成闭合循环回路。

所述的镀膜机组包括两台或两台以上的镀膜机。

所述的镀膜机为并列连接。

所述的储水池为设置在地下的地下水池。

所述的回水池与冷却水塔相连通，冷却水塔与储水池相连通，储水池与镀膜机组相连通，镀膜机组与回水池相连通形成闭合的循环回路。

所述的回水池与冷却水塔之间设置有水泵。

所述的储水池与镀膜机之间设置有水泵和调节阀。

所述的补水池的水可流进回水池。

所述的储水池设置于冷却水塔的下方。

本实用新型的有益效果体现在：首先，本实用新型将传统的二级冷却简化为一级冷却，即把镀膜机上的辅助二级冷却，即冰水机或冰水塔取消，改为在其源头一级冷却水塔下另建一个存储水池，通过水泵的作用实现不断循环使用的目的；其次，由于储水池水建在地下，冷却水塔将水冷却后，供给地下储水池，地下水池可以避免外部温度的照射，起到保持冷水温度的效果；最后，本实用新型适用性强，能够适用于多种品牌和类型的大型真空镀膜设备，具有降低维护成本，减少场地使用面积，降低水电成本低且安装维护方便等特点。

附图说明

图1是现有技术中的二级冷却的工作原理示意图。

图2是本实用新型的工作原理示意图。

附图标注说明：1-镀膜机组，2-储水池，3-冷却水塔，4-回水池，5-补水池，6-镀膜机，7-冰水机或冰水塔。

具体实施方式

下面结合附图说明本实用新型的具体实施方式：