[实用新型]一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置。

背景技术

在多晶硅生产工艺过程中，会产生大量的废气，废气中主要含有N₂、H₂、HCl和氯硅烷，传统的处理方法是废水淋洗，这样不仅需要消耗大量的石灰和水，而且也浪费了废气中有用的物质氯硅烷。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，该装置利用废气加压冷凝的工艺原理，来回收废气中的氯硅烷，从而变废为宝。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，该装置由废气缓冲罐、尾气压缩机、压缩后缓冲罐、一级冷却器、二级冷却器、气液分离罐依次串联组装而成，所述气液分离罐顶端设置排气口，底端连接产品缓冲罐。

所述废气缓冲罐设定背压的表压为15KPa~30 KPa，优选20 KPa。

所述尾气压缩机的出口压力的表压为0.25 KPa~0.3 KPa，优选0.3 Kpa。

所述一级冷却器为水冷器，采用循环水冷却。

所述二级冷却器为深冷器，采用-20℃乙二醇冷却或-35℃氟利昂R22冷却，优选采用-35℃氟利昂R22冷却。

本实用新型产生的有益效果为：本实用新型高度能耗低，回收了废气中的氯硅烷，变废为宝，废气中氯硅烷的回收率可达到85%，而且该装置安装方便，操作步骤简单。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型连接示意图。

图中：1-废气缓冲罐，2-尾气压缩机，3-压缩后缓冲罐，4-一级冷却器，5-二级冷却器，6-气液分离罐，7-产品缓冲罐。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，该装置由废气缓冲罐1、尾气压缩机2、压缩后缓冲罐3、一级冷却器4、二级冷却器5、气液分离罐6依次串联组装而成，所述气液分离罐6顶端设置排气口，底端连接产品缓冲罐7。

本实用新型原理是：多晶硅生产的废气进入缓冲罐1，所述废气缓冲罐设定背压的表压为15KPa~30 KPa，优选20 Kpa；然后通过尾气压缩2加压0.25~0.3Mpa（这里的压力指的是表压，以下指代均是表压），废气储存在压缩后缓冲罐3，通过一级冷却器预冷到45℃，该一级冷却器4为水冷器，采用循环水冷却；然后通过二级冷却器5冷却到-15℃~-25，废气中的氯硅烷会被冷凝为液体，该二级冷却器为深冷器，采用-20℃乙二醇冷却或-35℃R22氟利昂冷却，优选-35℃R22氟利昂冷却；未冷凝性气体通过气液分离罐6顶部排除，冷凝后的氯硅烷液体进入到产品缓冲罐7回收利用。

实施例：

2013年6月~10月采用该工艺路线在内蒙古某厂建立了装置并运行，取某一时段数据如下：

该系统工程应用表明该装置路线是回收多晶硅废气中的氯硅烷的有效途径，回收率极高，而且避免现有处理方式浪费资源的问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。