[实用新型]改进衬底气流方向的HVPE反应器

权利要求书

1.一种改进衬底气流方向的HVPE反应器，其特征在于，包括壳体（11），壳体（11）的顶部设有主干（7），壳体（11）内设有基板座（2），主干（7）的一侧设有喷射管一（8）、喷射管二（9），另一侧设有进气管二（4）、进气管三（5）；基板座（2）上设有基板（S）；基板座（2）中心设有进气管一（3），进气管一（3）的上下两端从基板座（2）中露出，其中顶端设有喷射孔（12）；基板座（2）与壳体（11）内壁之间的间隙形成排气口（10）。

2.如权利要求1所述的改进衬底气流方向的HVPE反应器，其特征在于，从所述进气管一（3）喷射孔（12）的开孔方向为：从该喷射孔流出的气体向水平面流动。

3.如权利要求1所述的改进衬底气流方向的HVPE反应器，其特征在于，所述喷射管一（8）、喷射管二（9）和进气管二（4）、进气管三（5）分别位于喷射板（7）中心的两侧，且一字排开，喷射管二（9）和进气管二（4）更靠近喷射板（7）中心。

4.如权利要求3所述的改进衬底气流方向的HVPE反应器，其特征在于，所述喷射管二（9）、进气管二（4）穿过主干（7）设于壳体（11）内的端部设有比其自身管径大的喷射板。