[实用新型]一种提高多晶硅料酸液利用率的装置

说明书

技术领域

本实用新型属于硅材料清洗领域，具体涉及一种提高多晶硅料酸液利用率的装置。

背景技术

目前一般混合酸腐蚀采用的是定量混合酸腐蚀定量的硅料，这种清洗方式在很大程度上造成酸液的浪费。在混合酸腐蚀硅料的反应中自身发热会加快硝酸的分解，造成不能充分利用所配酸液。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种提高多晶硅料酸液利用率的装置，当定量的酸液在腐蚀完一定量的硅料后，再按照一定的酸液比例对混合酸进行滴定，对消耗的酸液进行补充，就能够很大程度延长混合酸的使用寿命，尽量减少浪费，最大程度上对酸液进行利用，从而降低生产成本。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种提高多晶硅料酸液利用率的装置，包括：

一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，

一酸副槽，用于存储混合酸，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，

一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，

以及一氢氟酸存储罐和一硝酸存储罐，所述氢氟酸存储罐和硝酸存储罐分别通过滴定管连接酸副槽，在该滴定管上设置有滴定阀。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述酸副槽内设置有毛细管，毛细管的一端连接有冷却水进口，毛细管的另一端连接有冷却水出口。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述冷却水进口处和冷却水出口处均设置有控制阀，且在冷却水出口处设置有流量计。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述酸槽和所述酸副槽上还设置有温度计和液位计。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型能够更大程度利用酸液，降低酸液单耗，可以解决硅料在混合酸中腐蚀时酸液寿命短，表面清洗不干净等问题，提高工作效率，降低生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

参照图1，一种提高多晶硅料酸液利用率的装置，包括：

一酸槽100，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，

一酸副槽200，用于存储混合酸，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，

一循环管道300，将所述酸槽和酸副槽连通，其中循环管道300上安装有循环泵310，用于将酸副槽调节完毕的混合酸送至酸槽；酸槽100和酸副槽200上还设置有温度计110和液位计120；

以及一氢氟酸存储罐400和一硝酸存储罐500，所述氢氟酸存储罐400和硝酸存储罐500分别通过滴定管600连接酸副槽，在该滴定管上设置有滴定阀610。

其中酸副槽内设置有PFA毛细管700，PFA毛细管700的一端连接有冷却水进口710，毛细管的另一端连接有冷却水出口720；冷却水进口处和冷却水出口处均设置有控制阀730，且在冷却水出口处设置有流量计740。PFA毛细管700内通入冷却水，能够降低酸副槽200内的温度，防止酸液挥发。

酸液清洗一定量硅料后，酸性减弱物料清洗效果降低，可利用存储罐内酸进行氢氟酸和硝酸滴定。

可灵活设置滴定方式，首先设置滴定间隔篮数，再分别对氢氟酸和硝酸滴定量进行设置。不同物料的滴定设置需进行多次生产试验，根据酸液消耗、比例、物料表面特征、清洗效果等进行多次测试，寻找最佳的滴定方案。

此处以前期生产试验进行举例，采用相同配比的新混合酸210L，清洗同批次物料，不滴定时可清洗75篮(25kg/篮)；当清洗至50篮时增加滴定，设置每清洗1篮硅料进行滴定氢氟酸:300ml,硝酸:200ml,混合酸寿命可延长至清洗硅料150篮，降低了酸液消耗的同时也节省了换酸时间，提高了生产效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。