[实用新型]一种可更换特气管孔的特气管路

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板式PECVD设备，具体涉及一种特气管路。

背景技术

目前，在太阳能电池片生产过程中，需要在电池片的表面镀一层氮化硅（SiN）薄膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，提高光电转换效率，还具有良好的抗氧化和绝缘性能，良好的掩蔽金属和水离子扩散的能力，化学稳定性良好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其他酸基本不可腐蚀。带有特气管路的板式PECVD（等离子体增强化学气相沉积法）设备应运而生，在工艺过程中，特气（包括氨气和硅烷）通过特气管路的特气管孔输送到工艺腔参与反应。然而连续工作100小时左右，随着SiN的堆积，直径为1mm的特气管孔很容易堵塞导致镀膜不良，设备需要维护。由于SiN硬度比较大且特气管孔比较小，维护十分不便。一般每台PECVD设备拥有264个特气管孔，设备平均维护时间达4小时，特气管路每3个月需要更换一次。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种便于更换特气管孔、缩短维护时间的可更换特气管孔的特气管路。

技术方案：本实用新型所述的一种可更换特气管孔的特气管路，包括焊接在特气管路壁上的固定块、密封垫片、嵌入螺栓、特气管孔和特气管路，所述嵌入螺栓贯穿于所述固定块中并嵌入至所述特气管路的开孔中，并通过所述密封垫片与所述固定块紧密接触并压紧，所述特气管孔贯通于所述嵌入螺栓中并连通至所述特气管路；由于本实用新型是通过嵌入螺栓中心线上的穿孔作为特气管孔，因此当特气管孔发生堵塞需要维护时仅需手工拧下嵌入螺栓，对其上的特气管孔进行疏通或者更换一个新的嵌入螺栓零件重新装上即可。

优选的，所述特气管孔的直径为1mm，这样易于控制气孔通气流量，确保气体输出均稳，保证工艺效果，若气孔偏大导致气流量波动大影响镀膜效果，若气孔偏小容易被氮化硅堵塞影响该区域镀膜质量。

优选的，每条所述特气管路长1.1m，每隔5厘米设有一组特气管孔，可确保特气输出均衡，保证镀膜效果，若不均匀分布气孔易造成特气输出不均衡，电池片的膜厚和色差无法保证。

进一步，所述密封垫片是由氟橡胶制成的，特气管工作环境通常达到300摄氏度，氟橡胶具有耐高温、耐油及耐化学药品侵蚀的特性，因此可达到耐高温且密封性好的技术要求。

有益效果：本实用新型通过将特气管孔设置在易于装卸的嵌入螺栓上，通过更换嵌入螺栓以实现简单快速更换维护特气管孔的目的，缩短了设备维护时间，提高工作效率，延长特气管路使用寿命，节约设备维护成本，同时设计简单可靠，密封性好，安装方便，成本较低。

附图说明

图1为实用新型特气管路的平面示意图；

图2为特气管孔结构的剖面（沿图1中A-A）示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

实施例：一种可更换特气管孔4的特气管路5，如图1所示，特气管路5上设有22组特气管孔4结构，如图2所示，每个特气管孔4结构有固定块1、密封垫片2、嵌入螺栓3和特气管孔4，具体的，特气管孔4的直径为1mm。环形的固定块1其端面焊接在特气管路5壁上，嵌入螺栓3贯穿于固定块1中并嵌入至特气管路5壁上的开口中，嵌入螺栓3与固定块1之间通过氟橡胶（FKM）密封垫片2紧密接触并压紧密封，特气管孔4沿嵌入螺栓3的中心线贯穿并连通至特气管路5。

对特气管孔4更换维护时，从固定块1中拧下嵌入螺栓3对其上的特气管孔4进行疏通，或者直接更换新的嵌入螺栓3零件重新装上，简化了维护步骤，操作简单，提高了生产效率。

如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。