[实用新型]一种串联式超高加速度超精密定位二维平台

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种平台，尤其涉及一种串联式超高加速度超精密定位二维平台。

背景技术

随着超精密加工，微电子制造等精密工程的快速发展，大行程超精密定位作为定位关键设备的重要性已日益凸显，特别是在光刻，键合等微电子领域中，设备需要做高速状态下进行的平台精确定位运动。目前，定位平台高速运动已经发展到极限，这制约了定位平台生产效率的提高。在满足预定精度的条件下，提高平台速度和加速度，缩短机械加工时间，有效的提高生产效率是定位平台发展的方向。

目前国内的高速精密的定位主要是直线电机与压电驱动器等来完成,这些定位虽然对于速度有了一定的提高，但是加速度会受到限制；通过串联式将两个音圈电机与定位平台连接起来，突破速度的限制，实现超高加速度，这对于现代化的微电子制造领域的应用具有一定的应用意义。

实用新型内容

针对上述缺陷或不足，本实用新型提供了一种串联式超高加速度超精密定位二维平台，该精密定位二维平台解决了现有技术无法突破更高加速的精密定位问题。

为达到以上目的，本实用新型的技术方案为：

包括底座，底座上安装有能够沿X轴方向与Y轴方向运动的宏微XY定位平台，宏微XY定位平台的四边上通过连接架安装有结构相同的X轴第一电机、X轴第二电机、Y轴第一电机，以及Y轴第二电机；其中，X轴第一电机与X轴第二电机同轴设置，进行X轴方向加速定位运动，Y轴第一电机与Y轴第二电机同轴设置，进行Y轴方向加速定位运动；X轴第一电机、X轴第二电机、Y轴第一电机，以及Y轴第二电机的底端均与底座固定连接。

所述宏微XY定位平台包括：宏动X平台以及宏动Y平台，其中，宏动X平台的两边安装有X轴第一交叉导轨和X轴第三交叉导轨，宏动Y平台的两边安装有X轴第二交叉导轨和X轴第四交叉导轨，X轴第一交叉导轨与X轴第二交叉导轨相配合，X轴第三交叉导轨与X轴第四交叉导轨相配合。

所述宏动X平台的两边安装有Y轴第一滑块导轨和Y轴第二滑块导轨，Y轴第一滑块导轨上安装有Y轴第一滑块，Y轴第二滑块导轨上安装有Y轴第二滑块，Y轴第一滑块导轨和Y轴第二滑块导轨与X轴第一交叉导轨平行设置；X平台的两边还设置有X轴第一光栅尺和X轴第二光栅尺；宏动X平台的下表面两边设置有Y轴第一光栅尺和Y轴第二光栅尺，且Y轴第一光栅尺和Y轴第二光栅尺与X轴第一交叉导轨垂直设置。

所述宏动X平台的底部设置有与底座固定的宏微XY平台底座，宏微XY平台底座上安装有与Y轴第一光栅尺相配合的Y轴第一光栅尺读数头，以及与Y轴第二光栅尺相配合的Y轴第二光栅尺读数头。

所述宏微XY平台底座两边安装有Y轴第一交叉导轨和Y轴第三交叉导轨，宏动X平台的底端安装有与Y轴第一交叉导轨相配合的Y轴第二交叉导轨，以及与Y轴第三交叉导轨相配合的Y轴第四交叉导轨。

所述宏动Y平台的两边上安装有X轴第一滑块导轨和X轴第二滑块导轨，X轴第一滑块导轨上安装有X轴第一滑块，X轴第二滑块导轨上安装有X轴第二滑块，X轴第一滑块导轨和X轴第二滑块导轨与Y轴第一交叉导轨垂直设置；宏动Y平台的另外两边上固定安装有X轴第一光栅尺相配合的X轴第一光栅尺读头，以及与X轴第二光栅尺相配合的X轴第二光栅尺读头。

所述宏动Y平台的中心安装有微动XY平台，宏动Y平台通过微动X压电驱动和微动Y压电驱动与微动XY平台连接。

所述X轴第一电机包括音圈电机以及固定连接于底座上的音圈电机底板，音圈电机的底部安装有音圈电机滑块，音圈电机底板上安装有音圈电机滑块导轨，音圈电机滑块安装于音圈电机滑块导轨上。

所述音圈电机上安装有用于吸收和缓解在X轴和Y轴方向加速度运动残留的振动的减振器。

所述减振器包括固定器、浮动器，以及导轴，其中，固定器固定安装于音圈电机底板上，导轴穿过固定器后固定安装于固定器上，导轴的一端套设有第一挡片、第一弹簧和第二挡片，导轴的另一端套设有第三挡片、第二弹簧和第四挡片；浮动器为U型结构，浮动器的两端开设有导轴孔，导轴安装于导轴孔中。

与现有技术比较，本实用新型的有效果为：