[实用新型]基于硅硅键合技术的一种水压传感器有效
| 申请号： | 201420228389.0 | 申请日： | 2014-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN203908725U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 郭宏;王莉莎;田继忠;庞晓华;陈英刚 | 申请（专利权）人： | 苏州中崟传感股份有限公司;北京鑫诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金电子科技发展有限公司;威海诺金传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215315 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 硅硅键合 技术 一种 水压 传感器 | ||
1. 基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，包括水压传感器(100)和芯片编程板(101)，芯片编程板(101)一端通过USB通讯接口连接计算机(103)，芯片编程板(101)另一端连接水压传感器(100)，所述的水压传感器(100)上安装有一可编程的信号处理电路(110)和应变电阻片电桥(120)，信号处理电路(110)输入端连接应变电阻片电桥(120)输出端；所述的信号处理电路(110)和应变电阻片电桥(120)为一体式结构，防水保护层(105)设置在应变电阻片电桥(120)外部。
2. 根据权利要求1所述的基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，所述的信号处理电路(110)中还集成有单片机。
3. 根据权利要求1或2所述的基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，所述的信号处理电路(110)中还集成有电可擦写可编程只读存储器。
4. 根据权利要求3所述的基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，所述信号处理电路(110)采用了比利时生产的MLX90326芯片。
5. 根据权利要求1所述的基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，所述芯片编程板(101)采用EVB90320编程板。
6. 根据权利要求1所述的基于硅硅键合技术的一种水压传感器，其特征在于，所述的水压传感器(100)还包括温度传感器(140)和检测电路(150)，所述的温度传感器(140)通过AD转换器与信号处理电路(110)相连，所述检测电路(150)直接与信号处理电路(110)相连。
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