[实用新型]一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台有效
| 申请号： | 201420219639.4 | 申请日： | 2014-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203838476U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;支凡;刘召;成荣;杨开明;张利;秦慧超;赵彦坡;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 电动机 驱动 微动 一体 掩模台 | ||
1.一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，包括粗微动一体掩模台动台(100)、平衡质量(200)、粗微动一体掩模台动台的驱动电动机、掩模板、基座(001)、隔振系统(500)及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上，其特征在于：该粗微动一体掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机(300)；动铁式平面电动机动子(301)为安装在粗微动一体掩模台动台两侧的永磁体阵列，动铁式平面电动机定子(302)为安装在平衡质量上的线圈阵列。
2.根据权利要求1所述的一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，其特征在于：该粗微动一体掩膜台还包括提供补偿粗微动一体掩模台动台重力的气浮结构(410)，所述的气浮结构中，气浮平面安装在粗微动一体掩模台动台上，气孔安装结构(412)安装在平衡质量上。
3.根据权利要求1所述的一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，其特征在于：该粗微动一体掩膜台还包括提供补偿粗微动一体掩模台动台重力的磁悬浮结构(420)，所述的磁悬浮结构动子安装在粗微动一体掩模台动台上，磁悬浮结构定子(422)安装在平衡质量上。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，其特征在于：平面电动机动子永磁体阵列排布形式为二维Halbach阵列；平面电动机定子线圈阵列排布形式有两种，一种为沿Y方向排布，另一种沿Z方向排布。
5.根据权利要求1、2或3所述的一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，其特征在于：该粗微动一体掩模台的掩模板采用透射式掩模板(101)，粗微动一体掩模台动台为中空式结构，掩模板布置位置为粗微动一体掩模台动台中空部分。
6.根据权利要求1或3所述的一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，其特征在于：该粗微动一体掩模台的掩模板采用反射式掩模板(102)，粗微动一体掩模台动台为实心式结构，掩模板布置位置为粗微动一体掩模台动台底部。
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