[实用新型]一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架有效
| 申请号: | 201420150372.8 | 申请日: | 2014-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN203754796U | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
| 发明(设计)人: | 闫少健;韩滨;田灿鑫;付德春 | 申请(专利权)人: | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
| 代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 成钢 |
| 地址: | 443500 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 可拆卸 活塞环 pvd 镀膜 | ||
1.一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征在于:包括活塞环架和底盘(4),所述活塞环架包括定位杆(1)和支撑架(2),两者均竖直设置在底盘(4)上,定位杆(1)和支撑架(2)之间通过调节杆(3)连接,调节杆(3)水平设置在底盘(4)上方,所述底盘(4)的底面中心设有传动件(5),底盘的顶面设有支撑架安装槽(6),支撑架(2)的底部通过固定杆7安装在支撑架安装槽(6)内,所述支撑架(2)的顶部垂直横向连接有顶杆(11),顶杆(11)上设有滑槽(8),滑槽(8)内竖直安装有挂杆(9)。
2.根据权利要求1所示的可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征在于:所述定位杆的横截面为等腰三角形,其顶角为50-70度,底边的长为待镀膜的活塞环(10)的豁口的2倍。
3.根据权利要求1所示的可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征在于:所述支撑架(2)为长方形板体,其两侧的长边边缘垂直连接架腿。
4.根据权利要求1所示的可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征在于:所述传动件(5)为一方块,顶部与底盘(4)固定连接,底部设有向内凹陷的凹槽。
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