[实用新型]基于PSA技术的高纯、高压制气设备

权利要求书

1.一种基于PSA技术的高纯、高压制气设备，包括气源压缩机（1），所述的气源压缩机（1）经气液分离器A（2）、冷冻式干燥机（3）、气液分离器B（4）、过滤器A（5）与气源缓冲罐（8）连通，其特征在于：在过滤器A（5）与气源缓冲罐（8）之间紧邻气源缓冲罐（8）处设置有能控制阀前压力的背压阀A（7）；在过滤器A（5）与背压阀A（7）之间设置有气源旁路（6），所述的气源缓冲罐（8）经气源缓冲罐排气管路（9）、单向阀A（10）与气源旁路（6）相通；所述的气源旁路（6）经阀A（11）与变压吸附气体分离装置（12）连通；所述的变压吸附气体分离装置（12）经输出管路（15）、背压阀B（18）与产品气缓冲罐（20）连通，所述的产品气缓冲罐（20）经过滤器B（21）连接有背压阀C（23），所述的背压阀C（23）后连接有产品气输出装置。

2.如权利要求1所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：所述的产品气输出装置包括低压产品气输出装置和中、高压产品气输出装置中的至少一个；所述的低压产品气输出装置包括经管道与背压阀C（23）连通的阀C（26）；所述的中、高压产品气输出装置包括与背压阀C（23）直接连接的阀D（27）、与阀D（27）连接的产品气增压机（28），在产品气增压机（28）后设置有单向阀C（29）和阀F（31）；在阀F（31）与单向阀C（29）之间，设置管路与阀E（30）连通。

3.如权利要求2所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：所述的背压阀C（23）与阀D（27）之间设置有阀L（45），产品气缓冲罐（20）与阀L（45）的排污管经气体回收管路（43）和单向阀D（44）汇集到气源压缩机（1）的二级进气口。

4.如权利要求2所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：在所述的阀F（31）后设置有纯化装置（32），所述的纯化装置（32）与阀G（33）连通；纯化装置（32）与阀G（33）之间的管路上经阀H（34）连接有中、高压气瓶（35）。

5.如权利要求4所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：所述的中、高压气瓶（35）经减压回充管路（46）与背压阀B（18）的出口管路连通，所述的减压回充管路（46）上设置有阀I（36）和减压阀A（37）。

6.如权利要求1、2、3、4或5所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：所述的变压吸附气体分离装置（12）与背压阀B（18）之间并联有置换气旁路（16），所述的置换气旁路（16）上设置有单向阀B（17）和节流阀（19）。

7.如权利要求1、2、3、4或5所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：所述的气液分离器A（2）、冷冻式干燥机（3）、气液分离器B（4）、过滤器A（5）的排污管和气源缓冲罐（8）的废气排放管汇集到废液分离收集装置（38），所述的废液分离收集装置（38）上设置有消声器（39）。

8.如权利要求1、2、3、4或5所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：在所述的过滤器B（21）和背压阀C（23）之间设置有产品气纯度分析仪（22）。

9.如权利要求1、2、3、4或5所述的基于PSA技术的高纯、高压制气设备，其特征在于：在所述的背压阀C（23）后经阀B（24）、减压阀B（40）连接有检测产品气的流量计（25）。