[实用新型]高精密单面研磨机的上盘结构

权利要求书

1.一种高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于包括有机架（11）、安装在机架（11）上的移动平台（9）以及安装在移动平台（9）上的驱动装置，机架（11）上安装有导轨（10），移动平台（9）安装在导轨（10）上，移动平台（9）与驱动装置连接，移动平台（9）上下移动带动上盘（5）运动，并实现工件的加压，驱动上盘（5）旋转的旋转运动驱动电机（6）固定在基座（4）上，基座（4）安装在移动平台（9）上，旋转运动驱动电机（6）输出轴上安装的主动带轮（8）与主轴（26）上安装的从动带轮（3）通过同步带连接，上盘（5）安装在主轴（26）的一端，旋转运动驱动电机（6）通过上述带传动机构带动上盘（5）旋转，上盘（5）的下端面装设有用于固定工件的吸盘结构（29），吸盘结构（29）通过主轴（26）上设有的真空通道与提供夹紧工件需要负压的真空发生器相连，主轴（26）上装有用于实时监测与控制上盘（5）转速的旋转编码器。

2.根据权利要求1所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述驱动装置包括有直线运动驱动电机（1）及丝杆螺母传动机构，直线运动驱动电机（1）固定在机架（11）上，丝杆螺母传动机构中的丝杆与直线运动驱动电机（1）的输出轴连接，移动平台（9）与丝杆螺母传动机构中螺母相连。

3. 根据权利要求1所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述上盘（5）通过基座（4）安装在移动平台（9）上；上述旋转运动驱动电机（6）通过安装基板（7）固定在基座（4）上。

4.根据权利要求1所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述主轴（26）的一端装设有上端盖（12），主轴（26）通过上端盖（12）与真空发生器连接。

5.根据权利要求4所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述主轴（26）的上端盖（12）通过扩口式锥螺纹直角管接头（2）与提供夹紧工件所需要的负压的真空发生器连接。

6.根据权利要求4所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述上端盖（12）与主轴（26）间安装有深沟球轴承（13），主轴（26）中部位置装有角接触球轴承（24）。

7.根据权利要求1至6任一项所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述主轴（26）的轴肩处有一个支撑环（15），支撑环（15）上套装有弹簧安装基座（16），缓冲弹簧（23）固定在弹簧安装基座（16）上，主轴（26）的外侧套装有套筒（22），套筒（22）通过螺栓与基座（4）固定连接，起到定位锁紧作用的法兰盘（25）与套筒（22）连接，用于实时监测与控制工件加工压力的片状压力传感器安装在支撑环（15）与缓冲弹簧（23）之间。

8.根据权利要求7所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述主轴（26）的中部通过角接触球轴承（17、19）支承在套筒（22）上，角接触球轴承（17、19）通过定位圆螺母（18）固定在套筒（22）上。

9.根据权利要求8所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述主轴（26）上设有的真空通道为直接做出在主轴（26）内的主轴空腔（27），上盘（5）中设有上盘空腔（28），真空发生器通过主轴空腔（27）及上盘空腔（28）与上盘（5）下端面装设的吸盘结构（29）连接，负压通过主轴空腔（27）及上盘空腔（28）进入到吸盘结构（29）中。

10.根据权利要求9所述的高精密单面研磨机的上盘结构，其特征在于上述主轴端与上盘（5）通过压铆螺钉连接，空腔（28）的外端装有密封塞；上述吸盘结构（29）设有两个环形槽。