[实用新型]用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置有效
| 申请号： | 201420135916.3 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN203760505U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡卓然;高海;刘智;尹祥麟;刘正伟 | 申请（专利权）人： | 上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 200083 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 lao 衬底 极性 led 外延 制备 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，其特征在于，包括机械手（26）和反应腔（29），所述反应腔（29）内设有石墨盘（28），所述石墨盘（28）的下方设有射频感应加热器（27），所述石墨盘（28）的上方设有喷头（30），所述反应腔（29）上还设有射频等离子源装置（31），所述喷头（30）和射频等离子源装置（31）与气体输送管道相连。
2.如权利要求1所述的用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，其特征在于，所述喷头（30）通过阀门、流量控制器分别与H2输送管道（22）、Cp2Mg输送管道（23）、TMGa输送管道（24）、TMIn输送管道（25）相连。
3.如权利要求1所述的用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，其特征在于，所述射频等离子源装置（31）通过阀门、流量控制器分别与NH3输送管道（20）、SiH4输送管道（21）相连。
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