[实用新型]一种机台管路进水的侦测报警装置有效
| 申请号: | 201420084195.8 | 申请日: | 2014-02-26 |
| 公开(公告)号: | CN204036232U | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
| 发明(设计)人: | 宋恺;张弢;蒋德念 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;G01F15/06 |
| 代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 机台 管路 进水 侦测 报警装置 | ||
1.一种机台管路进水的侦测报警装置,应用于机台上部充气装置的真空管路中,其特征在于,包括:
研磨头,所述研磨头可升降地与一马达连接;
气阀,所述气阀安装在所述马达的上端;
抽真空管路,所述抽真空管路与所述气阀相连接;以及
流量侦测器,所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外,并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。
2.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,还包括数字信号模板,所述流量侦测器与所述数字信号模板信号连接,所述数字信号模板与所述外置机台信号连接。
3.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述研磨头与所述马达之间具有轴,所述研磨头通过所述轴与所述马达的下端连接。
4.如权利要求3所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述研磨头与所述轴之间具有密封圈。
5.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述流量侦测器为一个或多个流量传感器。
6.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述报警装置还包括一十字旋转轴盖板,所述十字旋转轴盖板位于所述流量侦测器的外部。
7.如权利要求2所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征 在于,所述报警装置还包括一十字旋转轴研磨装置,所述十字旋转轴研磨装置的顶端设置有所述信号模板。
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