[实用新型]一种机台管路进水的侦测报警装置有效

专利信息
申请号: 201420084195.8 申请日: 2014-02-26
公开(公告)号: CN204036232U 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 宋恺;张弢;蒋德念 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34;G01F15/06
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 吴俊
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 机台 管路 进水 侦测 报警装置
【权利要求书】:

1.一种机台管路进水的侦测报警装置,应用于机台上部充气装置的真空管路中,其特征在于,包括: 

研磨头,所述研磨头可升降地与一马达连接; 

气阀,所述气阀安装在所述马达的上端; 

抽真空管路,所述抽真空管路与所述气阀相连接;以及 

流量侦测器,所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外,并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。 

2.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,还包括数字信号模板,所述流量侦测器与所述数字信号模板信号连接,所述数字信号模板与所述外置机台信号连接。 

3.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述研磨头与所述马达之间具有轴,所述研磨头通过所述轴与所述马达的下端连接。 

4.如权利要求3所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述研磨头与所述轴之间具有密封圈。 

5.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述流量侦测器为一个或多个流量传感器。 

6.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征在于,所述报警装置还包括一十字旋转轴盖板,所述十字旋转轴盖板位于所述流量侦测器的外部。 

7.如权利要求2所述的机台管路进水的侦测报警装置,其特征 在于,所述报警装置还包括一十字旋转轴研磨装置,所述十字旋转轴研磨装置的顶端设置有所述信号模板。 

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420084195.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top