[实用新型]一种半导体立式炉的保温桶有效
| 申请号： | 201420074271.7 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN203798133U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张骏;柳文涛 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/10 | 分类号： | F27B1/10 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 立式 保温桶 | ||
1.一种半导体立式炉的保温桶，包括底部石英板、竖直安装在石英板上的若干支撑杆、水平安装在支撑杆上的若干石英片，其特征在于，所述保温桶还包括一石英中空壳体，所述中空壳体与所述石英板同心设置，所述支撑杆一端连接所述石英板，另一端连接所述中空壳体。
2.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体为圆柱形石英真空密闭壳体。
3.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体的侧面设有若干通孔。
4.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体为圆柱形，侧面设有若干通孔，所述通孔按轴对称分布。
5.如权利要求1、3或4所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体为圆柱形，侧面设有2或4个通孔，所述通孔按轴对称分布。
6.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述支撑杆为3个，其中2个在所述石英板上按轴对称分布，所述3个支撑杆设置在以石英板轴心为圆心的同一圆周上。
7.如权利要求6所述的保温桶，其特征在于，所述支撑杆上设有凹槽，所述石英片通过所述凹槽与所述支撑杆水平插接。
8.如权利要求1或7所述的保温桶，其特征在于，所述石英片为7～12片，水平均匀安装在所述支撑杆上。
9.如权利要求8所述的保温桶，其特征在于，所述石英片为包覆有OP3保温材料的夹心层结构。
10.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体的高度为所述保温桶总高度的1/3～1/2。
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